[發明專利]薄壁件形貌檢測裝置

在審

• 申請號: 201611051179.9
• 申請日: 2016-11-25
• 公開（公告）號: CN106595514A
• 公開（公告）日: 2017-04-26
• 發明（設計）人: 方偉;肖文;黃穩;潘鋒;劉思仁;伊小素
• 申請（專利權）人: 中國商用飛機有限責任公司;上海飛機制造有限公司
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所11256
• 代理人: 蘇娟,徐年康

1.一種薄壁件形貌檢測裝置，其特征在于，其包括雙波長激光器、第一分光棱鏡、第二分光棱鏡、第一光束準直器、第二光束準直器、反射鏡、CMOS相機和放置臺，由所述雙波長激光器出射的光束經第一分光棱鏡分成透射光束和反射光束，所述反射光束經所述反射鏡和第二光束準直器照射置于所述放置臺上的待測薄壁件，第二分光棱鏡將所述待測薄壁件反射的物光束和經第一光束準直器出射的透射光束合光得到合并光束，所述CMOS相機的光敏面接收所述合并光束。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述雙波長激光器用于發出兩個波長的光束，所述兩個波長的光束的中心波長的波長差大于30nm。

3.如權利要求2所述的方法，其特征在于，所述兩個波長的光束的光譜寬度均介于5nm和20nm之間。

4.如權利要求2所述的方法，其特征在于，所述兩個波長的光束的中心波長分別為491nm和532nm。

5.如權利要求2所述的方法，其特征在于，所述雙波長激光器為連續波二極管泵浦固體激光器。

6.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述薄壁件形貌檢測裝置還包括第一光衰減器和第二光衰減器，分別設置于所述透射光束和所述反射光束的傳播路徑中，分別用于調節述透射光束和所述反射光束的光強。

7.如權利要求6所述的方法，其特征在于，第一光衰減器和第二光衰減器為線性連續可調的光衰減器。

8.如權利要求1所述的方法，其特征在于，第一分光棱鏡和第二分光棱鏡為消偏振分光棱鏡。