[發明專利]一種CaF2光學基底深紫外激光輻射誘導表面變化檢測方法有效
| 申請號： | 201611047901.1 | 申請日： | 2016-11-24 |
| 公開（公告）號： | CN106404745B | 公開（公告）日： | 2019-09-10 |
| 發明（設計）人： | 鄧文淵;金春水;靳京城;李春 | 申請（專利權）人： | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號： | G01N21/65 | 分類號： | G01N21/65;G01N21/64 |
| 代理公司： | 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 趙勍毅 |
| 地址： | 130033 吉林省長春*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 caf2 光學 基底 深紫 激光 輻射 誘導 表面 變化 檢測 方法 | ||
【權利要求書】：
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