[發明專利]一種柔性薄膜太陽電池微量點膠組件及其工藝方法

有效

• 申請號: 201611047442.7
• 申請日: 2016-11-22
• 公開（公告）號: CN106784081B
• 公開（公告）日: 2018-07-06
• 發明（設計）人: 馬寧華;陳亮;周麗華;王小順;唐道遠;周文燦;楊君坤;蔣帥;陳臻純
• 申請（專利權）人: 上海空間電源研究所
• 主分類號: H01L31/046
• 分類號: H01L31/046;H01L31/0463
• 代理公司: 上海航天局專利中心 31107
• 代理人: 金家山

1.一種柔性薄膜太陽電池微量點膠組件，包括柔性襯底，以及在所述柔性襯底向上依次制備的底電極、有源層和前電極；其特征在于，在柔性薄膜太陽電池的功能材料表面指定位置進行微量精密點膠，

所述的指定位置微量精密點膠被引入到柔性薄膜太陽電池組件的制備中。

2.如權利要求1所述的柔性薄膜太陽電池微量點膠組件，其特征在于，所述柔性襯底采用PET或PI柔性材料；所述底電極的膜層采用鉻、鎳、銀、鋁、氧化鋅制備的復合背反射膜；所述有源層為單結或多結NIP非晶硅材料，非晶硅有源層包含N型硅基薄膜、I型硅基薄膜和P型硅基薄膜，所述N型硅基薄膜為磷摻雜N型硅基薄膜，P型硅基薄膜為硼摻雜P型硅基薄膜；所述前電極的膜層采用透明導電材料。

3.一種采用權利要求1或2所述的柔性薄膜太陽電池微量點膠組件的點膠工藝方法，其特征在于，包含以下步驟：

步驟S1，點膠面為上述柔性襯底上依次制備底電極和有源層的材料；

步驟S2，在柔性薄膜太陽電池功能材料上進行深度選擇性激光刻蝕，刻蝕底電極絕緣；

步驟S3，將柔性薄膜材料放置在點膠設備上，并采用負壓吸附方式將柔性薄膜材料吸附平整；

步驟S4，在激光刻蝕的位置上進行精密點膠；

步驟S5，根據膠水的性質，對上述點膠后的材料進行低溫熱固化或UV固化。

4.權利要求3所述的柔性薄膜太陽電池微量點膠組件的工藝方法，其特征在于，所述步驟S4精密點膠采用非接觸點膠方式，選用低溫固化或UV固化膠水，膠液粘度在10~10000mpas。

5.權利要求3所述的柔性薄膜太陽電池微量點膠組件的工藝方法，其特征在于，所述步驟S4點膠頭由獨立的精密移動單元和精密CCD定位單元控制，實現由點及線的點膠，點膠定位精度±100um。

6.權利要求3所述的柔性薄膜太陽電池微量點膠組件的工藝方法，其特征在于，所述步驟S4通過改變點膠頭的直徑、點膠速度、點膠頻率、脈沖電壓、供氣氣壓，控制點膠的寬度、高度及均勻度，點膠高度小于15um，點膠寬度控制在400um。

7.權利要求3所述的柔性薄膜太陽電池微量點膠組件的工藝方法，其特征在于，所述步驟S2的激光為納秒或皮秒激光，激光波長為1064nm。

8.權利要求3所述的柔性薄膜太陽電池微量點膠組件的工藝方法，其特征在于，還包含以下步驟：

步驟S5，采用磁控濺射設備，在上述點膠后的柔性薄膜太陽電池功能材料上制備前電極膜層；

步驟S6，采用激光刻蝕設備，在上述柔性薄膜太陽電池精密點膠的位置進行激光刻蝕。

9.如權利要求8所述的柔性薄膜太陽電池微量點膠組件的工藝方法，其特征在于，所述步驟S4點膠頭由獨立的精密移動單元和精密CCD定位單元控制，實現由點及線的點膠，點膠定位精度±100um；通過改變點膠頭的直徑、點膠速度、點膠頻率、脈沖電壓、供氣氣壓，控制點膠的寬度、高度及均勻度，點膠高度小于15um，點膠寬度控制在400um。

10.如權利要求8所述的柔性薄膜太陽電池微量點膠組件的工藝方法，其特征在于，所述步驟S6的激光設備為納秒或皮秒激光，激光波長為532nm。