[發明專利]一種超寬光譜光敏材料和應用該光敏材料的光電探測器有效
| 申請號: | 201611046705.2 | 申請日: | 2016-11-23 |
| 公開(公告)號: | CN106601837B | 公開(公告)日: | 2018-06-22 |
| 發明(設計)人: | 吳東;牛營營 | 申請(專利權)人: | 中山大學 |
| 主分類號: | H01L31/0272 | 分類號: | H01L31/0272;H01L31/0328;H01L31/08;C01B19/00 |
| 代理公司: | 廣州新諾專利商標事務所有限公司 44100 | 代理人: | 張玲春 |
| 地址: | 510275 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 光敏材料 超寬光譜 光電探測器 感光單元 超寬波段 光電轉換 碲化物 光電探測器結構 工作溫度區間 晶體生長技術 大規模集成 薄膜制備 金屬電極 制備材料 制作方便 光探測 探測器 制備 應用 覆蓋 | ||
1.一種超寬光譜光敏材料,其特征在于:所述光敏材料包括有Eu-Sb-Te三元碲化物晶體或者Eu-Bi-Te三元碲化物晶體;所述Eu-Sb-Te三元碲化物晶體的組分為EuSbx1Tey1,x1的取值范圍為0.7~1,y1的取值范圍為2.9~3.3;所述Eu-Sb-Te三元碲化物晶體、所述Eu-Bi-Te三元碲化物晶體的晶系結構均屬于正交晶系,空間群均為Pmmn;所述Eu-Bi-Te三元碲化物晶體的組分為EuBix2Tey2,x2的取值范圍為0.7~1,y2的取值范圍為2.9~3.3。
2.根據權利要求1所述的超寬光譜光敏材料,其特征在于:x1的取值范圍為0.75~0.85,y1的取值范圍為3.1~3.25。
3.根據權利要求1所述的超寬光譜光敏材料,其特征在于:x2的取值范圍為0.75~0.85,y2的取值范圍為3.1~3.25。
4.一種光電探測器,其特征在于:
包括有可光電轉換的感光單元,所述感光單元的兩端均設有金屬電極,所述感光單元的制備材料包括權利要求1~3中任一項所述的超寬光譜光敏材料。
5.根據權利要求4所述的光電探測器,其特征在于:所述金屬電極的材料為金、銀、鉑、銦、鎘、錫的一種或幾種組合;所述金屬電極通過鍍膜工藝蒸鍍或濺射工藝設置于所述感光單元上。
6.根據權利要求4所述的光電探測器,其特征在于:還包括有絕緣襯底,所述絕緣襯底的厚度≤5mm,所述感光單元設于所述絕緣襯底上;所述絕緣襯底的材質包括有硅、石英、藍寶石或者碳化硅。
7.根據權利要求4~6中任一項所述的光電探測器,其特征在于:所述光電探測器包括有單一所述感光單元;或者,所述光電探測器包括有由多個所述感光單元組成的焦平面陣列。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





