[發明專利]一種載板組合及加熱裝置

在審

• 申請號: 201611046052.8
• 申請日: 2016-11-22
• 公開（公告）號: CN108091723A
• 公開（公告）日: 2018-05-29
• 發明（設計）人: 倪鵬玉;王樹林;楊與勝
• 申請（專利權）人: 福建金石能源有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種載板組合及加熱裝置，其中所述載板組合包括載板框架，載板框架中設有支撐結構，所述支撐結構可張緊設置在載板框架中；所述支撐結構上可拆卸放置有M×N個載板，其中M＞1，N＞1，所述載板中開設有n×m個開孔，所述開孔形成載板組合的承載區域，其中n＞1，m＞1。本發明使得載板易于拆卸，方便維護保養，同時并且可最小化載板由于熱效應造成的變形的影響，從而避免大板產生變形造成對產品品質的影響。

技術領域

本發明涉及太陽能電池制備領域，尤其涉及一種載板組合及加熱裝置。

背景技術

現有的載板通常在一整塊金屬板或非金屬版上開槽或孔制成大載板，然后再在槽或孔中放置產品，最后將載板連同產品一同放置在加熱板上進行加熱。

其中，異質結太陽能電池是一種利用晶體硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太陽能電池，相對傳統單/多晶硅電池，有更高的發電效率，更好的穩定性和更低的成本。其PN結制備工序是采用板式PECVD制成。PN結制備工序是異質結太陽能電池制備過程一道重要的工序，一般是在板式PECVD制成，如圖1所示的載板，為板式PECVD制成PN結常用工具，其是在一整塊金屬板或非金屬版上開槽或孔制成大載板，然后在槽或孔中放置硅片，最后將PECVD載板放置在如圖2所示的加熱板上，由于載板較大，容易變形，使得載板和加熱板之間產生間隙，導致放置載板上的硅片溫差較大，且使得等離子體變得不均勻，容易產生電弧放電，嚴重影響PN結的制備質量。

發明內容

針對上述問題，本發明提供了一種載板組合及加熱裝置，其解決了加熱時產品受到載板變形的影響，易于拆卸，方便維護保養，提高了生產效率。

為實現上述目的，本發明采用以下技術方案：

一種載板組合，其包括載板框架，載板框架中設有支撐結構，所述支撐結構可張緊設置在載板框架中；所述支撐結構上可拆卸放置有M×N個載板，其中M＞1，N＞1，所述載板中開設有n×m個開孔，所述開孔形成載板組合的承載區域，其中n＞1，m＞1。

進一步的，所述開孔的內邊設有臺階形支撐部，需承載的物體放置在開孔內并卡設在開孔內邊的臺階形支撐部上。

進一步的，所述M×N個載板相互獨立不相連。

進一步的，所述載板框架由多塊基板首尾相連構成。

進一步的，所述支撐結構為多條金屬絲，所述金屬絲的至少一端通過彈簧張緊機構可調節式的張緊在載板框架內。

進一步的，所述彈簧張緊機構包括彈簧、彈簧支撐塊、彈簧支撐塊壓板，所述彈簧頂在彈簧支撐塊上，所述金屬絲被彈簧支撐塊壓緊固定。

進一步的，所述基板為金屬板或非金屬板或金屬板和非金屬板的組合。

一種加熱裝置，其包括載板組合和加熱板，所述載板組合放置于加熱板上。

進一步的，所述加熱板上設有與金屬絲對應的收容部。

本發明采用以上設計方案，具有如下的有益效果：

1、通過在載板框架上設置支撐結構，將M×N個載板可拆卸式的放置在支撐結構上，并且M×N個載板相互獨立不相連，使得載板易于拆卸，方便維護保養，并且可最小化載板由于熱效應造成的變形的影響，從而避免大板產生變形造成對產品品質的影響；同時開孔結構可實現快速加熱。

2、通過采用彈簧張緊機構，隨著制備工藝過程中加熱裝置溫度的提高，金屬絲的長度由設于載板框架一側的彈簧張緊機構進行調節，從而使得金屬絲不受溫度的影響而保持其張緊狀態，因此使放置到載板上的產品不會因載板的變形而受到影響；