[發(fā)明專利]一種化學(xué)氣相沉積用的反應(yīng)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611044721.8
• 申請(qǐng)日: 2016-11-24
• 公開（公告）號(hào): CN106756890B
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許坤;曾凡光;麻華麗;杜銀霄;付林杰;霍海波;陳雷明;王玉梅;李艷
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 鄭州航空工業(yè)管理學(xué)院
• 主分類號(hào): C23C16/46
• 分類號(hào): C23C16/46;C23C16/455
• 代理公司: 洛陽(yáng)公信知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 41120
• 代理人: 炊萬庭

1.一種化學(xué)氣相沉積用的反應(yīng)裝置，包括反應(yīng)腔殼體和反應(yīng)腔上蓋（107），反應(yīng)腔上蓋（107）蓋設(shè)在反應(yīng)腔殼體上構(gòu)成密封的反應(yīng)腔，反應(yīng)腔上蓋（107）上設(shè)置有為反應(yīng)腔供入反應(yīng)氣體的反應(yīng)腔進(jìn)氣口（108），反應(yīng)腔殼體上加工有反應(yīng)腔出氣口（106），其特征在于：所述的反應(yīng)腔底部倒扣有隔離罩（102），通過隔離罩（102）將反應(yīng)腔分成兩個(gè)空間，隔離罩（102）內(nèi)部空間中設(shè)置有電極柱（104），電極柱（104）上連接有電阻絲（103），隔離罩（102）內(nèi)部空間中連接有惰性氣體進(jìn)氣口（105），隔離罩（102）側(cè)壁上開設(shè)有惰性氣體排氣口（109），通過惰性氣體進(jìn)氣口（105）和惰性氣體排氣口（109）配合為隔離罩（102）內(nèi)部空間中通入動(dòng)態(tài)流動(dòng)的惰性氣體，以便于通過動(dòng)態(tài)流動(dòng)的惰性氣體填充隔離罩內(nèi)部空間，并通過動(dòng)態(tài)流動(dòng)的惰性氣體阻止反應(yīng)腔內(nèi)氣體進(jìn)入隔離罩內(nèi)部空間中與電阻絲（103）反應(yīng)，通過電極柱（104）與電阻絲（103）相互配合的方式加熱隔離罩內(nèi)部空間中的惰性氣體，加熱后的電阻絲（103）配合隔離罩內(nèi)部空間中加熱后的惰性氣體構(gòu)成一個(gè)熱源，隔離罩（102）遠(yuǎn)離反應(yīng)腔底部的一端上支撐有導(dǎo)熱墊（101），待加熱元件放置在導(dǎo)熱墊（101）上并通過所述熱源產(chǎn)生的熱輻射對(duì)待加熱元件進(jìn)行加熱。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)氣相沉積用的反應(yīng)裝置，其特征在于：所述的反應(yīng)腔進(jìn)氣口（108）中通入的反應(yīng)氣體流向與待加熱元件的表面垂直。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)氣相沉積用的反應(yīng)裝置，其特征在于：所述的導(dǎo)熱墊（101）底部設(shè)置有與隔離罩（102）相互匹配的卡槽結(jié)構(gòu)，通過卡槽結(jié)構(gòu)將導(dǎo)熱墊（101）卡設(shè)在隔離罩（102）上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)氣相沉積用的反應(yīng)裝置，其特征在于：所述的導(dǎo)熱墊（101）采用石墨、氮化硼、氧化鋁或者石英中的至少一種制成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)氣相沉積用的反應(yīng)裝置，其特征在于：所述的惰性氣體為氦氣或氬氣中的至少一種。