[發明專利]微機械加速度傳感器加工方法在審
| 申請號： | 201611043136.6 | 申請日： | 2016-11-24 |
| 公開（公告）號： | CN106556719A | 公開（公告）日： | 2017-04-05 |
| 發明（設計）人： | 張淑芬 | 申請（專利權）人： | 陜西啟源科技發展有限責任公司 |
| 主分類號： | G01P15/125 | 分類號： | G01P15/125;G01P15/08 |
| 代理公司： | 西安億諾專利代理有限公司61220 | 代理人： | 康凱 |
| 地址： | 710065 陜西省西安市高新區灃*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微機 加速度 傳感器 加工 方法 | ||
【說明書】：
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