[發明專利]晶圓及其制備方法在審
| 申請號： | 201611041964.6 | 申請日： | 2016-11-11 |
| 公開（公告）號： | CN106505094A | 公開（公告）日： | 2017-03-15 |
| 發明（設計）人： | 喬明;方冬;章文通;張波 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | H01L29/06 | 分類號： | H01L29/06;H01L21/683 |
| 代理公司： | 成都點睛專利代理事務所(普通合伙)51232 | 代理人： | 敖歡,葛啟函 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 及其 制備 方法 | ||
【說明書】：
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