[發明專利]空間光調制器的法布里?珀羅干涉式寬譜段選頻采集裝置

在審

• 申請號: 201611041626.2
• 申請日: 2016-11-21
• 公開（公告）號: CN106596421A
• 公開（公告）日: 2017-04-26
• 發明（設計）人: 戴瓊海;高彬;張晶;邵航;范靜濤
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: G01N21/27
• 分類號: G01N21/27
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙)11201
• 代理人: 張大威

1.一種空間光調制器的法布里-珀羅干涉式寬譜段選頻采集裝置，其特征在于，包括：

采集光路，所述采集光路用于從待測樣本中采集預設譜段光信號；

準直透鏡，所述準直透鏡用于對所述預設譜段光信號進行準直處理后，輸出平行光束；

法珀腔，所述法珀腔用于對所述平行光束進行濾波，輸出預設波長的光波；

光信號采集裝置，所述光信號采集裝置用于采集所述預設波長的光波，并對所述光波進行降噪后轉化為對應的光譜信號。

2.根據權利要求1所述的空間光調制器的法布里-珀羅干涉式寬譜段選頻采集裝置，其特征在于，所述采集光路由光纖探頭或消色差物鏡組構成，其中，所述光纖探頭的出射光或所述消色差物鏡組像方的數值孔徑與所述準直透鏡的物方數值孔徑相匹配。

3.根據權利要求2所述的空間光調制器的法布里-珀羅干涉式寬譜段選頻采集裝置，所述準直透鏡與所述光纖探頭的末端或與所述消色差物鏡組的后焦點保持一個焦距的距離。

4.根據權利要求1-3任一項所述的空間光調制器的法布里-珀羅干涉式寬譜段選頻采集裝置，其特征在于，所述準直透鏡由單個非球面鏡或單透鏡或雙膠合透鏡或準直透鏡組或微透鏡陣列或柱面鏡構成。

5.根據權利要求1所述的空間光調制器的法布里-珀羅干涉式寬譜段選頻采集裝置，其特征在于，所述法珀腔由基底和鍍在所述基底兩側平行表面的反射膜組成，其中，所述基底由透光率高于預設透光率的介質或空氣構成，所述反射膜由介質膜或金屬膜構成。

6.根據權利要求5所述的空間光調制器的法布里-珀羅干涉式寬譜段選頻采集裝置，其特征在于，所述預設波長根據所述基底的厚度和折射率確定。

7.根據權利要求1所述的空間光調制器的法布里-珀羅干涉式寬譜段選頻采集裝置，其特征在于，所述光信號采集裝置由空間光調制器、一個會聚透鏡組成、單點探測器和光電探測器控制電路組成，其中，

所述空間光調制器以預設角度放置在所述法珀腔后面，將通過法所述珀腔濾波后的所述光波反射至一角度，并在反射的出射光路上放置所述會聚透鏡，以將得到的反射光會聚到所述單點探測器上。

8.根據權利要求7所述的空間光調制器的法布里-珀羅干涉式寬譜段選頻采集裝置，其特征在于，所述空間光調制器為線陣空間光調制器或面陣空間光調制器。

9.根據權利要求7所述的空間光調制器的法布里-珀羅干涉式寬譜段選頻采集裝置，其特征在于，所述單點探測器由光電倍增管及其驅動電路組成。

10.根據權利要求1所述的空間光調制器的法布里-珀羅干涉式寬譜段選頻采集裝置，其特征在于，所述預設譜段光信號的譜段為200nm至2500nm。