[發明專利]一種易裝配的雙層孔板式氣體分配器

有效

• 申請號: 201611039410.2
• 申請日: 2016-11-21
• 公開（公告）號: CN106640569B
• 公開（公告）日: 2019-10-22
• 發明（設計）人: 扈延林;毛威;胡大為;沈巖;陳君;吳朋安;山世華;臧娟偉;李勝軍;吳耀武
• 申請（專利權）人: 北京控制工程研究所
• 主分類號: F03H1/00
• 分類號: F03H1/00
• 代理公司: 中國航天科技專利中心 11009
• 代理人: 臧春喜

1.一種易裝配的雙層孔板式氣體分配器，其特征在于：包括導氣柱(1)、分配器座(2)、第一層孔板(3)、第二層孔板(4)、外擋板(5)、內擋板(6)和固定柱(7)；導氣柱(1)、分配器座(2)、外擋板(5)和內擋板(6)均為中空圓柱，第一層孔板(3)和第二層孔板(4)均為中空圓板，固定柱(7)為圓柱，分配器座(2)一端設有用于安裝導氣柱(1)和固定柱(7)的孔，分配器座(2)另一端設有用于安裝第一層孔板(3)和第二層孔板(4)的槽，第一層孔板(3)和第二層孔板(4)上均設有用于均化氣體的小孔，外擋板(5)和內擋板(6)分別與第二層孔板(4)外側和內側固定連接，外擋板(5)和內擋板(6)還與分配器座(2)另一端固定連接；分配器座(2)與第一層孔板(3)之間設有用于工質氣體第一次摻混的第一腔體，第一層孔板(3)和第二層孔板(4)之間設有用于工質氣體第二次摻混的第二腔體，外擋板(5)和內擋板(6)與第二層孔板(4)之間設有用于工質氣體第三次摻混的第三腔體；導氣柱(1)和固定柱(7)設有用于焊接的凸臺，采用電子束焊接方式實現導氣柱(1)與分配器座(2)之間和固定柱(7)與分配器座(2)之間的氣密連接；第一層孔板(3)和第二層孔板(4)依次推入分配器座的凹槽中，采用電子束焊接的方式實現第二層孔板(4)與分配器座(2)之間的氣密連接。

2.根據權利要求1所述的一種易裝配的雙層孔板式氣體分配器，其特征在于：所述導氣柱(1)和固定柱(7)分別焊接在分配器座(2)的孔中，第一層孔板(3)和第二層孔板(4)依次焊接在分配器座(2)的槽中。

3.根據權利要求1所述的一種易裝配的雙層孔板式氣體分配器，其特征在于：所述分配器座(2)、第一層孔板(3)和第二層孔板(4)的橫截面形狀均為U形，第一層孔板(3)中心通孔半徑和第一層孔板(3)最大邊緣半徑的平均值設為第一層孔板(3)的中徑，第二層孔板(4)中心通孔半徑和第二層孔板(4)最大邊緣半徑的平均值設為第二層孔板(4)的中徑。

4.根據權利要求3所述的一種易裝配的雙層孔板式氣體分配器，其特征在于：所述外擋板(5)和內擋板(6)的橫截面形狀均為L形。

5.根據權利要求4所述的一種易裝配的雙層孔板式氣體分配器，其特征在于：所述外擋板(5)中心通孔半徑大于第二層孔板(4)的中徑且小于大圈孔圓心至第二層孔板(4)中心的距離；所述大圈孔為均布在第二層孔板(4)上的孔，所述大圈孔的圓心至第二層孔板(4)中心的距離大于第二層孔板(4)的中徑。

6.根據權利要求4所述的一種易裝配的雙層孔板式氣體分配器，其特征在于：所述內擋板(6)中心通孔半徑大于小圈孔圓心至第二層孔板(4)中心的距離且小于第二層孔板(4)的中徑；所述小圈孔為均布在第二層孔板(4)上的孔，所述小圈孔的圓心至第二層孔板(4)中心的距離小于第二層孔板(4)的中徑。

7.根據權利要求3所述的一種易裝配的雙層孔板式氣體分配器，其特征在于：所述第一層孔板(3)上均布有一圈小孔，第一層孔板(3)的小孔圓心至的第一層孔板(3)中心的距離等于第一層孔板(3)的中徑。

8.根據權利要求3所述的一種易裝配的雙層孔板式氣體分配器，其特征在于：所述第二層孔板(4)上均布有兩圈小孔，分別為大圈孔和小圈孔，大圈孔圓心至第二層孔板(4)中心的距離大于第二層孔板(4)的中徑，小圈孔圓心至第二層孔板(4)中心的距離小于第二層孔板(4)的中徑。