[發明專利]一種真空氣氛處理裝置、樣品觀測系統及方法有效
| 申請號： | 201611038903.4 | 申請日： | 2016-11-23 |
| 公開（公告）號： | CN106680305B | 公開（公告）日： | 2023-08-04 |
| 發明（設計）人： | 何偉;李帥 | 申請（專利權）人： | 聚束科技（北京）有限公司 |
| 主分類號： | G01N23/2251 | 分類號： | G01N23/2251 |
| 代理公司： | 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270 | 代理人： | 張穎玲;李梅香 |
| 地址： | 100176 北京市大興區北京經*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 真空 氣氛 處理 裝置 樣品 觀測 系統 方法 | ||
【說明書】：
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