[發(fā)明專利]一種傳感器的制造方法

有效

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• 申請日: 2016-11-23
• 公開（公告）號: CN106430075B
• 公開（公告）日: 2017-11-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 付關(guān)軍
• 申請（專利權(quán)）人: 山東鴻榮電子有限公司
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00;B81C1/00
• 代理公司: 蘇州廣正知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司32234
• 代理人: 張漢欽

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及敏感元器件的傳感器領(lǐng)域，具體涉及一種傳感器的制造方法。

背景技術(shù)

光敏傳感器中最簡單的電子器件是光敏電阻，它能感應(yīng)光線的明暗變化，輸出微弱的電信號，通過簡單電子線路放大處理，可以控制LED燈具的自動開關(guān)。因此在自動控制、家用電器中得到廣泛的應(yīng)用，對于遠程的照明燈具，例如：在電視機中作亮度自動調(diào)節(jié)，照相機種作自動曝光；另外，在路燈、航標等自動控制電路、卷帶自停裝置及防盜報警裝置中等

光敏傳感器是最常見的傳感器之一，它的種類繁多，主要有：光電管、光電倍增管、光敏電阻、光敏三極管、太陽能電池、光線傳感器、紫外線傳感器、光纖式光電傳感器、色彩傳感器、CCD和CMOS圖像傳感器等。國內(nèi)主要廠商有OTRON品牌等。光傳感器是目前產(chǎn)量最多、應(yīng)用最廣的傳感器之一，它在自動控制和非電量電測技術(shù)中占有非常重要的地位。最簡單的光敏傳感器是光敏電阻，當光子沖擊接合處就會產(chǎn)生電流。

圖1為一種常見的圖像傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖，其包括具有光接收區(qū)11的襯底12，在光接收區(qū)周圍具有間隔件14（Spacer），封裝玻璃板13通過粘結(jié)層固定在間隔件14上。該傳感器只能對正面的光進行感測，而無法對其背面的光進行感測，限制了傳感器的應(yīng)用范圍。隨著超大規(guī)模集成電路對高集成度和高性能的需求逐漸提高，如何實現(xiàn)傳感器的雙面感測，并保證傳感器的尺寸小型化是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容

基于解決上述問題，本發(fā)明提供了一種傳感器的制造方法，包括以下步驟：

（1）提供第一襯底，所述第一襯底包括具有第一光接收區(qū)的正面和與所述正面相對的背面；

（2）所述第一襯底的背面制作凹槽，所述凹槽深度小于或等于所述第一襯底的厚度的一半；

（3）提供第二襯底，并將所述第二襯底固定于所述凹槽內(nèi)，所述第二襯底包括具有第二光接收區(qū)的正面和與所述正面相對的背面，所述第二襯底的正面與所述第一襯底的背面共面。

根據(jù)本發(fā)明的實施例，還包括步驟（4）：在所述第一襯底的正面上通過第一感光樹脂層粘合第一光濾波片。

根據(jù)本發(fā)明的實施例，還包括步驟（5）：在所述第二襯底的正面和第一襯底的背面上設(shè)置第二感光樹脂層。

根據(jù)本發(fā)明的實施例，還包括步驟（6）：光照固化所述第一和第二感光樹脂層。

根據(jù)本發(fā)明的實施例，還包括步驟（7）：制作第一導(dǎo)電通孔和第二導(dǎo)電通孔，第一導(dǎo)電通孔電連接在所述第一襯底的正面上的多個第一焊盤并穿過所述第一襯底和第二感光樹脂層，第二導(dǎo)電通孔電連接在所述第二襯底的正面上的多個第二焊盤并穿過所述第二感光樹脂層。

根據(jù)本發(fā)明的實施例，還包括步驟（8）：將所述第一導(dǎo)電通孔和第二導(dǎo)電通孔通過焊球與第二光濾波片的導(dǎo)電圖案電連接，并在第二感光樹脂層和第二光濾波片之間填充透明填充層。

根據(jù)本發(fā)明的實施例，還包括步驟（8’）：將所述第一導(dǎo)電通孔與所述第二導(dǎo)電通孔先電連接后，再通過焊球與所述第二光濾波片的導(dǎo)電圖案電連接。

根據(jù)本發(fā)明的實施例，還包括制作第三導(dǎo)電通孔，其中，所述第一導(dǎo)電通孔與所述第二導(dǎo)電通孔通過在第二感光樹脂層內(nèi)橫向延伸的第三導(dǎo)電通孔電連接。

根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述第一感光樹脂層和第二感光樹脂層為感光環(huán)氧樹脂。

根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述第二襯底通過粘合膠固定在所述凹槽底部。

根據(jù)本發(fā)明的實施例，所述凹槽內(nèi)填充有封裝樹脂以環(huán)繞所述第二襯底的側(cè)面。

本發(fā)明的技術(shù)方案，具有如下優(yōu)點：

（1）采用嵌入的第二襯底實現(xiàn)雙面?zhèn)鞲衅鞯耐瑫r，保證器件的薄型化；

（2）上下兩個襯底的焊盤通過通孔電連接之后，在經(jīng)過橫向的通孔將兩個縱向通孔電連接，由于第二感光樹脂層很薄，可以保證第二光接收區(qū)的接收光的能力，避免被焊球遮擋；

（3）第二光濾波片上具有導(dǎo)電圖案，既有濾光保護的作用，也用作導(dǎo)電基板，保證薄型化，省去了電路板。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)的圖像傳感器的剖面圖；

圖2為本發(fā)明第一實施例的傳感器的剖面圖；

圖3為本發(fā)明第二實施例的傳感器的剖面圖；

圖4-8為本發(fā)明的傳感器的制造方法的流程示意圖。

具體實施方式

第一實施例

參見圖2，一種雙面圖像傳感器2，包括：

第一襯底21a，其可以是硅襯底，在其上形成電子元件（光接收區(qū)），所述第一襯底21a包括具有第一光接收區(qū)22a的正面和與所述正面相對的背面；