[發明專利]感光性聚硅氧烷組成物、保護膜以及具有保護膜的組件有效
| 申請號: | 201611036083.5 | 申請日: | 2016-11-23 |
| 公開(公告)號: | CN106918989B | 公開(公告)日: | 2020-07-31 |
| 發明(設計)人: | 吳明儒;施俊安 | 申請(專利權)人: | 奇美實業股份有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/004 | 分類號: | G03F7/004;G03F7/008 |
| 代理公司: | 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205 | 代理人: | 馬雯雯;臧建明 |
| 地址: | 中國臺灣臺南*** | 國省代碼: | 臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 感光性 聚硅氧烷 組成 保護膜 以及 具有 組件 | ||
1.一種感光性聚硅氧烷組成物,其特征在于,包括:
聚硅氧烷(A);
鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B);
溶劑(C);以及
有機無機復合樹脂(D);
其中,所述有機無機復合樹脂(D)是由烷氧基硅烷(d-1)及烷氧基金屬(d-2)進行聚縮合而得,且有機無機復合樹脂(D)的重量平均分子量為500~5000,
基于所述聚硅氧烷(A)為100重量份,所述鄰萘醌二疊氮磺酸酯(B)的使用量為6重量份至20重量份,并且所述有機無機復合樹脂(D)的使用量為0.7重量份至4重量份。
2.根據權利要求1所述的感光性聚硅氧烷組成物,其特征在于,所述聚硅氧烷(A)至少是由式(I-1)表示的硅烷單體聚縮合而得,
Si(Ra)w(ORb)4-w 式(I-1)
式(I-1)中,Ra各自獨立表示氫原子、碳數為1至10的烷基、碳數為2至10的烯基、碳數為6至15的芳香基、含有酸酐基的碳數為1至10的烷基、含有環氧基的碳數為1至10的烷基或含有環氧基的烷氧基;Rb各自獨立表示氫原子、碳數為1至6的烷基、碳數為1至6的酰基或碳數為6至15的芳香基;w表示1至3的整數,至少一個Ra表示含有酸酐基的碳數為1至10的烷基、含有環氧基的碳數為1至10的烷基或含有環氧基的烷氧基。
3.根據權利要求1所述的感光性聚硅氧烷組成物,其特征在于,所述烷氧基硅烷(d-1)是選自式(II)所表示的化合物中至少一種的烷氧基硅烷,
X1fSi(OX2)4-f 式(II)
式(II)中,X1表示烷基、烯基或芳基;X2表示碳數為1至5的烷基;f表示0至2的整數。
4.根據權利要求1所述的感光性聚硅氧烷組成物,其特征在于,所述烷氧基金屬(d-2)是選自式(III)所表示的化合物,
M(Y)g 式(III)
式(III)中,M表示金屬;Y各自為相同或不同,且表示碳數為1至10的烷氧基;g表示金屬的價數。
5.根據權利要求4所述的感光性聚硅氧烷組成物,其特征在于,所述M所表示的金屬是選自于鋁、鈦或鋯。
6.根據權利要求1所述的感光性聚硅氧烷組成物,其特征在于,所述聚硅氧烷(A)的重量平均分子量為5000~30000。
7.根據權利要求1所述的感光性聚硅氧烷組成物,其特征在于,基于所述聚硅氧烷(A)為100重量份,所述溶劑(C)的使用量為100重量份至1000重量份。
8.一種保護膜,其特征在于,其是由如權利要求1至7中任一項所述的感光性聚硅氧烷組成物涂布于組件上,再經預烤、曝光、顯影及后烤后而形成。
9.一種具有保護膜的組件,其特征在于,其包括組件以及如權利要求8所述的保護膜,其中所述保護膜覆蓋在所述組件上。
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