[發明專利]一種類金剛石碳基薄膜的制作方法在審
| 申請號： | 201611035397.3 | 申請日： | 2016-11-15 |
| 公開（公告）號： | CN106435505A | 公開（公告）日： | 2017-02-22 |
| 發明（設計）人： | 朱得菊;吳德生;卓少鐘;陳立;覃祚峰;陳建才 | 申請（專利權）人： | 信利光電股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/46 | 分類號： | C23C14/46;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司11227 | 代理人： | 羅滿 |
| 地址： | 516600 廣東省汕*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 種類 金剛石 薄膜 制作方法 | ||
【權利要求書】：
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