[發(fā)明專利]一種多層膜電化學沉積設(shè)備及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611035297.0
• 申請日: 2016-11-23
• 公開（公告）號: CN107012498A
• 公開（公告）日: 2017-08-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 蕭國瑞
• 申請（專利權(quán)）人: 瑞爾太陽能投資有限公司
• 主分類號: C25D17/02
• 分類號: C25D17/02;C25D9/04;H01L31/18
• 代理公司: 濟南譽豐專利代理事務(wù)所(普通合伙企業(yè))37240
• 代理人: 李茜

1.一種多層膜電化學沉積設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備包括電沉積腔（10）和多個電沉積液存儲裝置，每個電沉積液存儲裝置的兩端分別設(shè)有電沉積液出口和電沉積液入口，每個電沉積液出口和電沉積液入口處均設(shè)有閥門（40），所述電沉積腔（10）的兩端分別與多個電沉積液存儲裝置的電沉積液出口和電沉積液入口連通，所述電沉積腔（10）內(nèi)固定有陰極材料（11）和陽極材料（12），所述陰極材料（11）和陽極材料（12）之間連接有電壓源（13）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多層膜電化學沉積設(shè)備，其特征在于，所述陰極材料（11）和陽極材料（12）之間的距離小于1cm。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多層膜電化學沉積設(shè)備，其特征在于，所述電沉積液存儲裝置（20）和所述電沉積腔（10）的連接管路上設(shè)有傳送泵（50）。

4.一種多層膜電化學沉積方法，應(yīng)用于權(quán)利要求1-3任一項所述的設(shè)備，其特征在于，所述方法包括如下步驟：

S101：將準備好的陰極材料（11）和陽極材料（12）分別放置于所述電沉積腔（1）內(nèi)；

S102：打開第一種電沉積液存儲裝置的電沉積液出口和入口處的閥門，并打開電壓源（13）在陰極材料（11）和陽極材料（12）之間通入工作電壓，使第一種電沉積液流經(jīng)陰極材料（11）和陽極材料（12）之間進行第一層膜的電化學沉積；

S103：當沉積完第一層薄膜后關(guān)閉電壓源（13）和第一種電沉積液存儲裝置的電沉積液出口和入口處的閥門，打開第二種電沉積液存儲裝置的電沉積液出口和入口處的閥門，并通過電壓源（13）在陰極材料（11）和陽極材料（12）之間通入第二種工作電壓，使第二種電沉積液流經(jīng)陰極材料（11）和陽極材料（12）之間進行第二層膜的電化學沉積；

S104：重復步驟S103，直至多層薄膜全部沉積完成，關(guān)閉電壓源（13）和所有電沉積液存儲設(shè)備的電沉積液出口和入口處的閥門（40）。