[發明專利]具有連續側墻的半導體設置及其制造方法有效
| 申請號： | 201611033447.4 | 申請日： | 2016-11-15 |
| 公開（公告）號： | CN106409913B | 公開（公告）日： | 2019-04-09 |
| 發明（設計）人： | 朱慧瓏;張嚴波;鐘匯才 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | H01L29/78 | 分類號： | H01L29/78;H01L21/336;H01L29/423;H01L21/28 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 倪斌 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 連續 半導體 設置 及其 制造 方法 | ||
【說明書】：
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