[發明專利]一種激光器封裝初期的老化夾具及其應用

在審

• 申請號: 201611032359.2
• 申請日: 2016-11-22
• 公開（公告）號: CN108089072A
• 公開（公告）日: 2018-05-29
• 發明（設計）人: 周莉;湯慶敏;劉存志;李沛旭;徐現剛
• 申請（專利權）人: 山東華光光電子股份有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00;G01R1/04
• 代理公司: 濟南金迪知識產權代理有限公司 37219
• 代理人: 葉亞林

1.一種激光器封裝初期的老化夾具，其特征在于，包括導電底座、絕緣板；導電底座的上表面設置有L形凹槽，所述L形凹槽開口向前；絕緣板上貫通設置有螺栓，絕緣板通過螺栓設置在導電底座的上表面；所述螺栓上套接設置有螺栓彈簧，所述螺栓彈簧設置在導電底座和絕緣板之間；絕緣板上還貫通設置有與所L形述凹槽配合的旋鈕，所述旋鈕設置在所述L形凹槽的正上方；旋鈕的底端通過彈簧連接有金屬片。

2.根據權利要求1所述的激光器封裝初期的老化夾具，其特征在于，絕緣板通過兩個螺栓與導電底座連接。

3.根據權利要求1所述的激光器封裝初期的老化夾具，其特征在于，所述L形凹槽內設置有激光芯片。

4.根據權利要求3所述的激光器封裝初期的老化夾具，其特征在于，所述激光芯片通過銦焊料或者金錫焊料在200-300℃的溫度條件下固化在熱沉上；所述金屬片通過彈簧向下的壓力與所述激光芯片上表面緊密接觸。

5.根據權利要求1所述的激光器封裝初期的老化夾具，其特征在于，所述L形凹槽的長度d1比熱沉的長度d2大30-60um；所述L形凹槽的寬度d3比熱沉的寬度d4大30-60um；所述L形凹槽的深度d5比所述熱沉的厚度d6與所述激光芯片的厚度d7之和大10-60um。

6.根據權利要求1所述的激光器封裝初期的老化夾具，其特征在于，導電底座的上表面設置有多個L形凹槽。

7.根據權利要求1所述的激光器封裝初期的老化夾具，其特征在于，激光芯片的前側邊與所述導電底座的前側面在同一個平面。

8.根據權利要求1所述的激光器封裝初期的老化夾具，其特征在于，所述絕緣板平行設置在導電底座的上表面。

9.一種利用權利要求1-8任意一項所述裝置進行激光器封裝初期老化的方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)將已固定在熱沉上的激光芯片放入所述L形凹槽內，激光芯片的激光出光面朝向所述L形凹槽的前方開口；

(2)通過螺栓將絕緣板覆蓋在導電底座上；

(3)旋轉所述螺栓，改變螺栓與金屬片之間彈簧的長度，使金屬片與激光芯片上表面緊密接觸，給激光芯片施加壓力；

(4)螺栓和旋鈕分別外接導線；當激光芯片上表面為負極，旋鈕外接負極、螺栓外接正極，當激光芯片上表面為正極，旋鈕外接正極、螺栓外接負極；

(6)設置所需的老化電流，打開老化電源，開始老化過程；

(7)老化60min～120min后，再打開半導體激光綜合測試儀測試激光芯片的參數，剔除電參數不合格的激光芯片，篩選出合格的激光芯片。

10.根據權利要求9所述的激光器封裝初期老化的方法，其特征在于，所述步驟(3)中彈簧長度的變化距離為1-2mm。