[發明專利]一種WAT閾值電壓測試方法及系統

有效

• 申請號: 201611031129.4
• 申請日: 2016-11-22
• 公開（公告）號: CN106646180B
• 公開（公告）日: 2019-05-03
• 發明（設計）人: 沈茜;莫保章
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 智云

1.一種WAT閾值電壓測試方法，包括如下步驟：

步驟一，對源漏極電壓分別增加以及減少一個大小為ΔV的小電壓，分別得到兩個漏極電流Id1與Id2；

步驟二，根據得到的漏極電流確定該源漏極電壓與漏極電流曲線的斜率；

步驟三，根據獲得的斜率及量測的漏極電流，確定器件的工作狀態，根據器件的工作狀態采用相應的方法進行閾值電壓測試，確定器件的工作狀態的具體方法包括：如果量測的漏極電流大于或等于一預設閾值，無論斜率K為何值，則認為器件工作在擊穿區；若量測的漏極電流小于該預設閾值，且K大于等于一預設值，則認為器件工作在線性區；若量測的漏極電流小于該預設閾值，且K小于該預設值，則認為該器件工作在飽和區。

2.如權利要求1所述的一種WAT閾值電壓測試方法，其特征在于：于步驟二中，根據公式K＝(Id2-Id1)/2*ΔV確定該斜率。

3.如權利要求2所述的一種WAT閾值電壓測試方法，其特征在于：于步驟三中，如果器件工作在擊穿區，則終止測試，測試值顯示為錯誤碼。

4.如權利要求3所述的一種WAT閾值電壓測試方法，其特征在于：若器件工作在線性區，則閾值電壓后續測試按照線性區算法進行計算。

5.如權利要求4所述的一種WAT閾值電壓測試方法，其特征在于：若器件工作在飽和區，則閾值電壓后續測試按照飽和區算法進行計算。

6.如權利要求1所述的一種WAT閾值電壓測試方法，其特征在于：該預設閾值為1E-5A，該預設值為0.1。

7.一種WAT閾值電壓測試系統，包括：

器件工作狀態判斷模塊，通過對源漏極電壓分別增加以及減少一個大小為ΔV的小電壓，分別得到兩個漏極電流Id1與Id2，然后根據得到的漏極電流確定源漏極電壓與漏極電流曲線的斜率，并根據獲得的斜率及量測的漏極電流，確定器件的工作狀態，確定器件的工作狀態的具體方法包括：

該器件工作狀態判斷模塊判斷量測的漏極電流是否小于預設閾值，若量測的漏極電流小于該預設閾值，則進一步判斷斜率K值是否大于等于一預設值，如果K大于等于該預設值，則認為器件工作在線性區，如果K小于該預設值，則認為器件工作在飽和區；若該器件工作狀態判斷模塊判斷量測的漏極電流大于等于該預設閾值，則認為器件工作在擊穿區；

測試執行模塊，根據確定的器件的工作狀態，執行相應的測試方法，實現WAT閾值電壓測試。

8.如權利要求7所述的一種WAT閾值電壓測試系統，其特征在于：該器件工作狀態判斷模塊利用公式K＝(Id2-Id1)/2*ΔV確定該源漏極電壓與漏極電流曲線的斜率。

9.如權利要求8所述的一種WAT閾值電壓測試系統，其特征在于：若該器件工作狀態判斷模塊認為器件工作在線性區，則該測試執行模塊按照線性區算法計算閾值電壓，如果該器件工作狀態判斷模塊認為器件工作在飽和區，則該測試執行模塊按照飽和區算法計算閾值電壓；若該器件工作狀態判斷模塊認為器件工作在擊穿區，則終止測試，測試值顯示為錯誤碼。