[發明專利]一種高alpha相氮化硅粉體的制備方法有效
| 申請號： | 201611030404.0 | 申請日： | 2016-11-16 |
| 公開（公告）號： | CN106430127B | 公開（公告）日： | 2018-10-19 |
| 發明（設計）人： | 劉光華;楊增朝;賀剛;李江濤 | 申請（專利權）人： | 中國科學院理化技術研究所 |
| 主分類號： | C01B21/068 | 分類號： | C01B21/068 |
| 代理公司： | 北京正理專利代理有限公司 11257 | 代理人： | 張文祎;趙曉丹 |
| 地址： | 100190 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 alpha 氮化 硅粉體 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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