[發明專利]離子注入即時制造控制系統及離子注入即時制造控制方法在審
| 申請號： | 201611028746.9 | 申請日： | 2016-11-18 |
| 公開（公告）號： | CN106356273A | 公開（公告）日： | 2017-01-25 |
| 發明（設計）人： | 李赟佳;賴朝榮;王智 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/302 | 分類號： | H01J37/302 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 離子 注入 即時 制造 控制系統 控制 方法 | ||
【說明書】：
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