[發(fā)明專利]用于分析物體的方法以及執(zhí)行該方法的帶電粒子束裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201611028040.2 | 申請日： | 2016-11-18 |
| 公開（公告）號： | CN107301940B | 公開（公告）日： | 2020-08-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | S.巴蒂普羅魯;E.希爾 | 申請（專利權(quán)）人： | 卡爾蔡司顯微鏡有限責(zé)任公司;卡爾蔡司X光顯微鏡股份有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/28 | 分類號： | H01J37/28;H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105 | 代理人： | 邱軍 |
| 地址： | 英國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 分析 物體 方法 以及 執(zhí)行 帶電 粒子束 裝置 | ||
1.一種用于使用帶電粒子束裝置(100；200；300)分析物體(114；225；304)的方法，
-所述帶電粒子束裝置(100；200；300)包括用于生成具有帶電粒子的帶電粒子束(312；329)的帶電粒子發(fā)生器(101；202；307；330)、用于將所述帶電粒子束(312；329)聚焦至所述物體(114；225；304)上的物鏡(107；221；319；334)、用于檢測相互作用粒子的第一檢測單元(116，117；219，228；317)以及用于檢測相互作用輻射的第二檢測單元(500)，所述相互作用粒子和所述相互作用輻射是在所述帶電粒子束撞擊在所述物體(114；225；304)上時生成的，并且包括存儲關(guān)于第一粒子和第二粒子的特性的信息的數(shù)據(jù)庫(702)，
其中，所述方法包括以下步驟：
-在所述物體(114；225；304)上方引導(dǎo)所述帶電粒子束；
-使用所述第一檢測單元(116，117；219，228；317)檢測所述相互作用粒子，使用所述第一檢測單元(116，117；219，228；317)生成第一檢測信號，并且使用所述第一檢測信號生成所述物體(114；225；304)的圖像(800)，所述圖像(800)包括具有不同顏色級的區(qū)域(I，II，III)，并且所述圖像(800)具有圖像分辨率；
-使用所述第二檢測單元(500)檢測所述相互作用輻射，使用所述第二檢測單元(500)生成第二檢測信號，并且使用所述第二檢測信號生成輻射光譜，所述輻射光譜表示所述物體(114；225；304)的體積單元(502)并且提供關(guān)于所述體積單元(502)的總體材料組成的信息，所述體積單元(502)具有沿著第一軸(x)的第一延伸、沿著第二軸(y)的第二延伸以及沿著第三軸(z)的第三延伸，所述圖像分辨率小于以下各項中的至少一項：所述第一延伸、所述第二延伸和所述第三延伸，并且所述體積單元(502)具有被以下各項中的兩項跨越的體積單元表面(503)：所述第一軸(x)、所述第二軸(y)和所述第三軸(z)；
-將所述圖像(800)的對應(yīng)于所述體積單元表面(503)的一部分分割為具有第一顏色級和第二顏色級的區(qū)域；
-確定所述區(qū)域的包括所述第一顏色級的第一區(qū)域分?jǐn)?shù)，并且確定所述區(qū)域的包括所述第二顏色級的第二區(qū)域分?jǐn)?shù)；
-通過對所述第一顏色級與存儲在所述數(shù)據(jù)庫(702)中的所述信息進(jìn)行比較而識別與所述第一顏色級相關(guān)聯(lián)的所述第一粒子，并且通過對所述第二顏色級與存儲在所述數(shù)據(jù)庫(702)中的所述信息進(jìn)行比較而識別與所述第二顏色級相關(guān)聯(lián)的所述第二粒子；以及
-通過使用所述第一粒子的特性、所述第一區(qū)域分?jǐn)?shù)、所述第二粒子的特性和所述第二區(qū)域分?jǐn)?shù)來確定所述體積單元(502)的組成，其中，所述體積單元(502)的所述組成由以所述第一區(qū)域分?jǐn)?shù)的量的所述第一粒子與以所述第二區(qū)域分?jǐn)?shù)的量的所述第二粒子按比例組成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述第一顏色級和所述第二顏色級中的至少一項是灰度級。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其中，所述第一粒子和所述第二粒子中的至少一項是礦物。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，
-所述數(shù)據(jù)庫(702)還存儲關(guān)于第三粒子的特性的信息，并且
-所述區(qū)域還包括第三顏色級，并且其中，
所述方法進(jìn)一步包括：
-確定所述區(qū)域的包括所述第三顏色級的第三區(qū)域分?jǐn)?shù)；
-通過對所述第三顏色級與存儲在所述數(shù)據(jù)庫(702)中的所述信息進(jìn)行比較而識別與所述第三顏色級相關(guān)聯(lián)的所述第三粒子；以及
-還通過使用所述第三粒子和所述第三區(qū)域分?jǐn)?shù)確定所述體積單元(502)的所述組成，其中，所述體積單元(502)的所述組成還由以所述第三區(qū)域分?jǐn)?shù)的量的所述第三粒子按比例組成。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中，所述區(qū)域僅包括所述第一顏色級、所述第二顏色級和所述第三顏色級。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的方法，其中，所述第三顏色級是灰度級。
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