[發(fā)明專利]曝光裝置以及制造物品的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201611027383.7 | 申請日： | 2014-06-05 |
| 公開（公告）號： | CN106444300B | 公開（公告）日： | 2018-08-14 |
| 發(fā)明（設計）人： | 伊藤覺 | 申請（專利權(quán)）人： | 佳能株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中國國際貿(mào)易促進委員會專利商標事務所 11038 | 代理人： | 周博俊 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 曝光 裝置 以及 制造 物品 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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