[發明專利]一種納米探針及納米探針測試儀在審
| 申請號： | 201611026075.2 | 申請日： | 2016-11-18 |
| 公開（公告）號： | CN106597035A | 公開（公告）日： | 2017-04-26 |
| 發明（設計）人： | 張佐兵;張順勇;謝振;靳磊 | 申請（專利權）人： | 武漢新芯集成電路制造有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/067 | 分類號： | G01R1/067;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京輕創知識產權代理有限公司11212 | 代理人： | 陳衛 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 納米 探針 測試儀 | ||
【權利要求書】：
1.一種納米探針，其特征在于，包括針臂(3)，所述針臂(3)的一端用于連接測試儀，另一端設置有用于同時與待失效分析半導體器件(2)同一極性兩個以上鎢栓(21)接觸的觸頭。
2.根據權利要求1所述一種納米探針，其特征在于，所述觸頭為多個用于同時分別與多個鎢栓(21)接觸的針尖(31)。
3.根據權利要求2所述一種納米探針，其特征在于，所述針尖(31)為圓臺體，所述圓臺體的最小半徑為20-50nm。
4.根據權利要求2所述一種納米探針，其特征在于，所述針尖(31)通過滑軌安裝于所述針臂(3)上。
5.根據權利要求1所述一種納米探針，其特征在于，所述觸頭為用于同時與多個鎢栓(21)接觸的導電塊(32)。
6.根據權利要求1所述一種納米探針，其特征在于，所述納米探針的材質為鎢合金。
7.一種納米探針測試儀，其特征在于，所述納米探針測試儀的探針采用權利要求1至6任一所述一種納米探針。
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