[發(fā)明專利]等離子體處理機(jī)臺及其射頻窗口溫度控制系統(tǒng)和溫度控制方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611020488.X
• 申請日: 2016-11-21
• 公開（公告）號: CN108091586B
• 公開（公告）日: 2020-12-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬冬葉
• 申請（專利權(quán)）人: 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/66;G05D23/19
• 代理公司: 上海信好專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31249
• 代理人: 周乃鑫

1.一種射頻窗口溫度控制系統(tǒng)，其特征在于，該控制系統(tǒng)包含：

溫度探頭，其靠近射頻窗口設(shè)置，采集射頻窗口實(shí)際溫度信息；

風(fēng)扇控制器，與所述溫度探頭連接，接收射頻窗口實(shí)際溫度信息，

風(fēng)扇，其連接風(fēng)扇控制器的輸出端，由風(fēng)扇控制器輸出的電源功率驅(qū)動運(yùn)行，控制射頻窗口的溫度；

所述風(fēng)扇控制器根據(jù)預(yù)設(shè)的射頻窗口溫度指令，向風(fēng)扇輸出控制風(fēng)扇運(yùn)行的電源功率，使射頻窗口實(shí)際溫度滿足預(yù)設(shè)的射頻窗口溫度；

該控制系統(tǒng)還包含主控電路，其輸出端連接風(fēng)扇控制器，主控電路接收預(yù)設(shè)的射頻窗口溫度指令輸出至風(fēng)扇控制器，所述主控電路的輸入端連接溫度探頭，接收射頻窗口實(shí)際溫度信息向外界反饋輸出；

所述控制系統(tǒng)還包含與主控電路連接的人機(jī)交互設(shè)備，其向主控電路下達(dá)預(yù)設(shè)的射頻窗口溫度指令，并顯示主控電路上傳的射頻窗口實(shí)際溫度信息；

所述風(fēng)扇控制器輸入端連接風(fēng)扇，接收風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速反饋；

所述主控電路輸入端連接風(fēng)扇控制器；當(dāng)風(fēng)扇控制器接收的風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速反饋異常，則輸出風(fēng)扇報(bào)警信號至主控電路，主控電路向外界反饋輸出。

2.如權(quán)利要求1所述的射頻窗口溫度控制系統(tǒng)，其特征在于，該控制系統(tǒng)還包含射頻濾波器，所述溫度探頭通過所述射頻濾波器將溫度信號輸送到所述風(fēng)扇控制器和所述主控電路。

3.如權(quán)利要求1所述的射頻窗口溫度控制系統(tǒng)，其特征在于，所述控制系統(tǒng)設(shè)置于硅通孔刻蝕機(jī)臺。

4.一種如權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的射頻窗口溫度控制系統(tǒng)的溫度控制方法，其特征在于，該溫度控制方法包含：

溫度探頭采集射頻窗口實(shí)際溫度信息上傳風(fēng)扇控制器；

風(fēng)扇控制器根據(jù)預(yù)設(shè)的射頻窗口溫度指令，向風(fēng)扇輸出控制風(fēng)扇運(yùn)行的電源功率，風(fēng)扇在電源功率驅(qū)動下運(yùn)轉(zhuǎn)，使射頻窗口實(shí)際溫度滿足預(yù)設(shè)的射頻窗口溫度；

當(dāng)射頻窗口實(shí)際溫度信息大于預(yù)設(shè)的射頻窗口溫度指令，則風(fēng)扇控制器增加或最大化風(fēng)扇的電源功率；

當(dāng)射頻窗口實(shí)際溫度信息小于預(yù)設(shè)的射頻窗口溫度指令，則風(fēng)扇控制器減小或最小化風(fēng)扇的電源功率；

所述風(fēng)扇控制器輸入端連接風(fēng)扇，接收風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速反饋，所述主控電路輸入端連接風(fēng)扇控制器，當(dāng)風(fēng)扇控制器探測到風(fēng)扇的風(fēng)扇轉(zhuǎn)速反饋發(fā)生異常，則向主控電路輸出風(fēng)扇報(bào)警信號，主控電路將風(fēng)扇報(bào)警信號上傳至人機(jī)交互設(shè)備顯示輸出，所述主控電路的輸入端連接溫度探頭，接收射頻窗口實(shí)際溫度信息向外界反饋輸出。

5.一種等離子體處理機(jī)臺，其特征在于，該機(jī)臺包含：

反應(yīng)腔；

射頻窗口，其設(shè)置于反應(yīng)腔頂部；

如權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的射頻窗口溫度控制系統(tǒng)，其溫度探頭靠近或貼設(shè)于射頻窗口上。