[發明專利]三軸微機械磁場傳感器有效
| 申請號： | 201611020374.5 | 申請日： | 2016-11-17 |
| 公開（公告）號： | CN106556804B | 公開（公告）日： | 2019-02-01 |
| 發明（設計）人： | 熊斌;劉松;徐德輝;梁亨茂 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | G01R33/02 | 分類號： | G01R33/02 |
| 代理公司： | 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明偉 |
| 地址： | 200050 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微機 磁場 傳感器 | ||
【說明書】：
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