[發(fā)明專利]鰭式場(chǎng)效晶體管器件

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611018347.4
• 申請(qǐng)日: 2016-11-16
• 公開（公告）號(hào): CN107039428A
• 公開（公告）日: 2017-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄧桔程;曾鴻輝;陳臆仁
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/088
• 分類號(hào): H01L27/088;H01L21/8234
• 代理公司: 南京正聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司32243
• 代理人: 顧伯興

1.一種鰭式場(chǎng)效晶體管器件，其特征在于包括：

襯底，具有在第一方向上延伸的至少一第一鰭以及至少一第二鰭；

第一柵極，在與所述第一方向不同的第二方向上延伸，且橫跨所述至少一第一鰭，

第二柵極，在所述第二方向上延伸，且橫跨所述至少一第二鰭，其中所述第一柵極的端部與第二柵極的端部彼此面對(duì)；以及

絕緣墻，在所述第一方向上延伸，位于所述第一柵極的端部與所述第二柵極的端部之間，且與所述第一柵極以及所述第二柵極中的每一者的柵介電材料實(shí)體接觸。