[發明專利]一種NISSIN離子注入機臺的自動化程式正確性管理方法及裝置有效
| 申請號： | 201611018094.0 | 申請日： | 2016-11-18 |
| 公開（公告）號： | CN106547697B | 公開（公告）日： | 2019-03-26 |
| 發明（設計）人： | 孫天拓;戴樹剛;胡榮 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G06F11/36 | 分類號： | G06F11/36 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 離子 注入 機臺 自動化 程式 正確性 管理 方法 裝置 | ||
【權利要求書】：
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