[發明專利]具有藥劑回收系統的光刻膠涂布機在審
| 申請號： | 201611016640.7 | 申請日： | 2016-11-18 |
| 公開（公告）號： | CN106406031A | 公開（公告）日： | 2017-02-15 |
| 發明（設計）人： | 徐飛;彭建中;李亞明;高廣修;吳昌龍;張良 | 申請（專利權）人： | 南京中電熊貓液晶材料科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 南京君陶專利商標代理有限公司32215 | 代理人： | 沈根水 |
| 地址： | 210033 江蘇省南*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 藥劑 回收 系統 光刻 膠涂布機 | ||
【說明書】：
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