[發明專利]產生氣體分析裝置以及產生氣體分析方法

有效

• 申請號: 201611016231.7
• 申請日: 2016-11-18
• 公開（公告）號: CN107037071B
• 公開（公告）日: 2020-07-10
• 發明（設計）人: 秋山秀之;渡邊將史;丸岡干太郎
• 申請（專利權）人: 日本株式會社日立高新技術科學
• 主分類號: G01N25/00
• 分類號: G01N25/00;G01N1/44;G01F1/76
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 李婷;傅永霄

1.一種產生氣體分析裝置，具備：

加熱部，加熱試料而產生氣體成分；

檢測機構，檢測在該加熱部生成的前述氣體成分；

氣體流路，連接前述加熱部與前述檢測機構之間，供前述氣體成分與運載氣體的混合氣體流通，前述運載氣體將該氣體成分向前述檢測機構引導；

該產生氣體分析裝置的特征在于，

前述氣體流路具有向外部開放的分支路，

前述分支路具有調整前述混合氣體向外部的排出流量的排出流量調整機構，

還具備流量控制部，該流量控制部基于來自前述檢測機構的檢測信號，控制前述排出流量調整機構，使得該檢測信號在既定的范圍內，

前述檢測機構是質量分析計，

前述氣體成分與被導入到前述加熱部的前述運載氣體混合而成為前述混合氣體。

2.如權利要求1所述的產生氣體分析裝置，其特征在于，具有對前述氣體流路或者前述分支路進行加熱或者保溫的保溫部。

3.如權利要求1所述的產生氣體分析裝置，其特征在于，在前述分支路的排出側具有將在該分支路流通的前述混合氣體強制排氣的強制排氣部。

4.如權利要求1或2所述的產生氣體分析裝置，其特征在于，前述氣體流路中與前述分支路的接點處的第一軸線與前述分支路中與前述氣體流路的接點處的第二軸線所形成的角θ為30至60度，前述分支路被自然排氣。

5.如權利要求1所述的產生氣體分支裝置，其特征在于，具備將前述加熱部保持為一定溫度的加熱控制部。

6.如權利要求1所述的產生氣體分析裝置，其特征在于，在前述氣體流路與前述質量分析計之間具有將前述混合氣體中的前述氣體成分離子化的離子化部，

前述流量控制部在來自前述檢測機構的檢測信號不足既定的范圍時，控制前述排出流量調整機構，使得前述混合氣體的前述排出流量增大。

7.一種產生氣體分析方法，將加熱試料而產生的氣體成分與運載氣體混合而生成混合氣體，將該混合氣體經由氣體流路導入檢測機構，借助前述檢測機構檢測前述氣體成分，

該產生氣體分析方法的特征在于，

基于來自前述檢測機構的檢測信號，從設置于前述氣體流路而向外部開放的分支路將前述混合氣體的一部分向外部排出，使得該檢測信號在既定的范圍內，

使用權利要求1所述的產生氣體分析裝置。