[發明專利]一種離子源

有效

• 申請號: 201611011842.2
• 申請日: 2016-11-17
• 公開（公告）號: CN106653556B
• 公開（公告）日: 2019-02-15
• 發明（設計）人: 張龍賜;謝貴久;周國方;龔星
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: H01J49/10
• 分類號: H01J49/10;H01J49/02
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙) 43008
• 代理人: 周長清;廖元寶

本發明公開了一種離子源，包括支架組件、柵網組件和放電組件，所述支架組件的內部設置有一空腔，所述柵網組件安裝于所述支架組件的一端，所述支架組件的另一端開口，所述放電組件滑動安裝于所述支架組件的內部空腔內并與支架組件的開口端緊固相連。本發明的離子源具有結構簡單、拆裝方便以及檢修效率高等優點。

技術領域

本發明主要涉及電離設備技術領域，特指一種離子源。

背景技術

離子源連續工作時間受到陰極燈絲和陽極筒清潔度影響，陰極燈絲易燒斷，需頻繁更換。陽極筒內表面易積累金屬離子和非金屬離子影響其清潔度和導電性，需定期清洗。傳統離子源通過連桿將加速法蘭和抑制法蘭與放電室安裝在一起，由于燈絲壽命比較短，需經常拆卸離子源進行更換，更換時從離子源的上方拆除柵網組件，再拆除固定在放電室側壁的陽極筒進行清洗，在裝配時，手工單獨裝配加速法蘭和抑制法蘭時，容易造成加速柵網和抑制柵網不能完全對正，即使使用定位銷也難以一次裝配成功，因此拆裝繁瑣。而離子源陽極筒由于安裝固定在放電室側壁，連接桿需穿過冷卻腔體并與其絕緣，既增加了冷卻腔體結構件加工難度，又使陽極筒安裝與拆卸麻煩。

發明內容

本發明要解決的技術問題就在于：針對現有技術存在的技術問題，本發明提供一種結構簡單、拆裝方便、檢修效率高的離子源。

為解決上述技術問題，本發明提出的技術方案為：

一種離子源，包括支架組件、柵網組件和放電組件，所述支架組件的內部設置有一空腔，所述柵網組件安裝于所述支架組件的一端，所述支架組件的另一端開口，所述放電組件滑動安裝于所述支架組件的內部空腔內并與支架組件的開口端緊固相連。

作為上述技術方案的進一步改進：

所述支架組件的內部空腔的內壁上設置有多根滑條，所述放電組件安裝于一安裝板上，所述安裝板的周側設置有多個卡槽，所述卡槽滑設于所述滑條上。

所述放電組件包括陽極筒、燈桿座、法蘭、多根燈絲桿和多根陽極桿，所述法蘭與支架組件的開口端緊固相連，所述法蘭上安裝有燈絲電極和陽極筒電極；所述陽極筒安裝于所述安裝板上，所述燈桿座絕緣安裝于所述陽極筒與安裝板之間，所述陽極桿的一端伸入至所述陽極筒內并與陽極筒緊固相連，另一端經所述燈桿座與安裝板緊固相連，并與所述法蘭上的陽極筒電極相連；所述燈絲桿的一端伸入至所述陽極筒內，另一端經所述燈桿座后與所述安裝板緊固相連，并與法蘭上的燈絲電極相連，各燈絲桿于陽極筒內的一端均連接有燈絲；所述進氣組件安裝于所述陽極筒與法蘭之間。

所述進氣組件包括氣體分配器和導氣管，所述安裝板上設置有螺柱，所述法蘭上設置有螺套，所述氣體分配器安裝于所述燈桿座上且位于陽極筒與燈桿座之間，所述導氣管的一端與所述螺柱螺紋連接并與氣體分配器連通，另一端則與螺套緊固相連并與法蘭的外部連通。

所述支架組件包括上法蘭、下法蘭、底板和支架，所述上法蘭與下法蘭之間設置有環圈，所述上法蘭、下法蘭與環圈之間構成放電室，所述底板與所述下法蘭緊固相連，所述支架呈環狀且其一端與所述底板之間緊固相連且相互絕緣，另一端開口。

所述支架的周側開設有一個以上的觀察窗。

所述柵網組件包括加速法蘭、加速柵網、抑制法蘭、抑制柵網和加速柵連桿，所述抑制法蘭安裝于所述上法蘭上且相互絕緣，所述加速法蘭安裝于所述抑制法蘭上且相互絕緣，所述抑制柵網安裝于所述抑制法蘭上，所述加速柵網安裝于所述加速法蘭上，所述加速柵連桿依次穿過所述加速法蘭和抑制法蘭后與所述上法蘭緊固相連，且所述加速柵連桿與所述上法蘭和抑制法蘭絕緣，與所述加速法蘭導通。

所述環圈包括內壁和外壁，所述內壁與所述外壁同軸設置，所述內壁與外壁之間形成冷卻腔。

所述環圈的外周側安裝有多根磁棒、用于形成磁場。

與現有技術相比，本發明的優點在于：