[發明專利]外延生長碳化硅?石墨烯薄膜的制備方法在審
| 申請號： | 201611008474.6 | 申請日： | 2016-11-16 |
| 公開（公告）號： | CN106435723A | 公開（公告）日： | 2017-02-22 |
| 發明（設計）人： | 李長英 | 申請（專利權）人： | 陜西聚潔瀚化工有限公司 |
| 主分類號： | C30B25/20 | 分類號： | C30B25/20;C30B29/02;C30B29/36;C30B29/64;C23C16/26;C23C16/32 |
| 代理公司： | 西安億諾專利代理有限公司61220 | 代理人： | 康凱 |
| 地址： | 710000 陜西省西安市高新*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 外延 生長 碳化硅 石墨 薄膜 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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