[發(fā)明專利]一種物像面定位系統(tǒng)以及定位方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610997333.5 | 申請(qǐng)日： | 2016-11-12 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN106569397B | 公開（公告）日： | 2018-08-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 周烽;王輝;郭本銀;謝耀;王麗萍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所 |
| 主分類號(hào)： | G03F7/20 | 分類號(hào)： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 深圳市科進(jìn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 趙勍毅 |
| 地址： | 130033 吉林省長(zhǎng)春*** | 國(guó)省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 面定位系統(tǒng) 物像 物鏡系統(tǒng) 個(gè)位移傳感器 調(diào)整機(jī)構(gòu) 檢焦系統(tǒng) 測(cè)量塔 定位板 折光鏡 紫外曝光裝置 測(cè)量設(shè)備 硅片 裝配 | ||
1.一種物像面定位系統(tǒng)，其特征在于，包括：物鏡系統(tǒng)，測(cè)量塔，定位板，檢焦系統(tǒng)，調(diào)整機(jī)構(gòu)，輔助折光鏡，測(cè)量設(shè)備；
所述物鏡系統(tǒng)與所述測(cè)量塔裝配在一起；
所述測(cè)量塔上設(shè)置有三個(gè)位移傳感器，所述三個(gè)位移傳感器共面，且該面與理想物面重合；
所述定位板設(shè)置在所述三個(gè)位移傳感器形成的面上；
所述輔助折光鏡設(shè)置在所述定位板上；
所述物鏡系統(tǒng)設(shè)置在檢焦系統(tǒng)上；
所述檢焦系統(tǒng)的下面設(shè)置有調(diào)整機(jī)構(gòu)；
所述調(diào)整機(jī)構(gòu)上設(shè)置有硅片；
所述測(cè)量設(shè)備與所述輔助折光鏡相對(duì)。
2.如權(quán)利要求1所述的物像面定位系統(tǒng)，其特征在于，還包括實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)和所述測(cè)量設(shè)備都設(shè)置在所述實(shí)驗(yàn)平臺(tái)上。
3.如權(quán)利要求1所述的物像面定位系統(tǒng)，其特征在于，所述物鏡系統(tǒng)與所述測(cè)量塔之間，以及所述物鏡系統(tǒng)與所述檢焦系統(tǒng)之間通過(guò)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)進(jìn)行裝配。
4.如權(quán)利要求1所述的物像面定位系統(tǒng)，其特征在于，所述測(cè)量設(shè)備包括角度測(cè)量設(shè)備以及鏡面定位儀；
所述角度測(cè)量設(shè)備射出的光通過(guò)所述輔助折光鏡折射至物鏡系統(tǒng)，檢焦系統(tǒng)并到達(dá)所述硅片上。
5.一種如權(quán)利要求1所述的物像面定位系統(tǒng)的定位方法，其特征在于，包括：
以物鏡系統(tǒng)為基準(zhǔn)，定位出物面的位置；
將物鏡系統(tǒng)的物面實(shí)體化，作為物像面定位的基礎(chǔ)；
根據(jù)物面與像面的相對(duì)位置，通過(guò)檢測(cè)設(shè)備標(biāo)定出像面；
調(diào)整硅片面的姿態(tài)至理想像面。
6.如權(quán)利要求5所述的物像面定位系統(tǒng)的定位方法，其特征在于，以物鏡系統(tǒng)為基準(zhǔn)，定位出物面的位置具體為：
利用三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)對(duì)物鏡系統(tǒng)、測(cè)量塔裝置、檢焦系統(tǒng)進(jìn)行機(jī)械粗裝配，使得三坐標(biāo)測(cè)量塔裝置中的三個(gè)位移傳感器共面，并以物鏡系統(tǒng)為基準(zhǔn)，調(diào)整該面相對(duì)于物鏡系統(tǒng)的角度及高度至理想位置，保證該面與理想物面重合。
7.如權(quán)利要求5所述的物像面定位系統(tǒng)的定位方法，其特征在于，所述將物鏡系統(tǒng)的物面實(shí)體化根據(jù)定位板與測(cè)量塔裝置的相對(duì)位置關(guān)系獲得。
8.如權(quán)利要求5所述的物像面定位系統(tǒng)的定位方法，其特征在于，所述檢測(cè)設(shè)備包括角度測(cè)量設(shè)備以及鏡面定位儀。
9.如權(quán)利要求8所述的物像面定位系統(tǒng)的定位方法，其特征在于，所述根據(jù)物面與像面的相對(duì)位置，通過(guò)檢測(cè)設(shè)備標(biāo)定出像面具體為：
根據(jù)物面與像面的相對(duì)位置使用角度測(cè)量設(shè)備精確標(biāo)定出像面相對(duì)于物鏡系統(tǒng)的角度關(guān)系，再根據(jù)實(shí)體化的物面上的物點(diǎn)的位置，根據(jù)物像距使用鏡面定位儀確定出像點(diǎn)的位置。
10.如權(quán)利要求5所述的物像面定位系統(tǒng)的定位方法，其特征在于，所述硅片面的姿態(tài)通過(guò)調(diào)整機(jī)構(gòu)進(jìn)行調(diào)整。
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