[發明專利]一種單晶爐連續拉晶多次加料機構有效
| 申請號: | 201610991889.3 | 申請日: | 2016-11-11 |
| 公開(公告)號: | CN106757309B | 公開(公告)日: | 2020-01-14 |
| 發明(設計)人: | 洪亞麗;姜樹炎 | 申請(專利權)人: | 寶雞市宏佳有色金屬加工有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/00 | 分類號: | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 44357 深圳市深聯知識產權代理事務所(普通合伙) | 代理人: | 徐炫 |
| 地址: | 721000 陜西省寶*** | 國省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 裝料設備 裝料 提升設備 內筒 二次加料 平移設備 輸出結構 提升機構 裝料口 連通 晶體生長過程 單晶體生長 多晶硅原料 固定設置 晶體生產 加料 單晶爐 有效地 拉晶 停爐 消耗 節約 污染 | ||
1.一種單晶爐連續拉晶多次加料機構,其特征在于,包括平移設備、裝料設備與提升設備;
所述裝料設備設置于所述平移設備,所述平移設備用于帶動所述裝料設備平移;
所述提升設備固定設置于所述裝料設備;
所述裝料設備設置裝料內筒,所述提升設備設置提升機構,所述提升機構與所述裝料內筒連接,用于控制所述裝料內筒上下移動;
所述裝料設備設置裝料口,所述裝料口與所述裝料內筒連通,用于裝入多晶硅原料到所述裝料內筒;
所述裝料設備還設置裝料外筒,所述裝料內筒設置于所述裝料外筒內部;
所述裝料口穿設于所述裝料外筒的壁部;
所述裝料外筒的底部設置輸出結構,所述輸出結構與所述裝料內筒連通,所述輸出結構用于輸出所述多晶硅原料;
所述裝料內筒包括錐形閥、石英下筒、石英上筒與石英蓋;
所述石英蓋與所述石英上筒連接,所述石英下筒部分套接于所述石英上筒內部,所述石英下筒設置相連通的筒腔、限位區與輸出腔,所述筒腔連通所述石英上筒內部;
所述錐形閥至少部分設置于所述輸出腔中,所述輸出腔的底部連通所述輸出結構,所述輸出腔的頂部連通所述限位區,所述錐形閥用于在受力時相對于所述限位區上下移動以開關所述限位區使所述筒腔與所述輸出腔相通斷;
所述提升設備還設置提升機支座,所述提升機支座固定設置于所述裝料外筒的頂部;
所述提升機構包括提升機與石英提升桿;
所述提升機固定設置于所述提升機支座,所述石英提升桿穿設于所述裝料外筒的頂部,所述石英提升桿的第一端與所述提升機連接,所述石英提升桿的第二端與所述錐形閥連接,所述石英提升桿用于受所述提升機控制向上移動,以帶動所述錐形閥上移;
所述裝料外筒的壁部的內部設置限位機構,所述限位機構用于限制所述石英上筒在所述裝料外筒內部的高度位置;所述高度位置包括上筒高度位置與下筒高度位置,所述限位機構包括與所述上筒高度位置相對應的第一限位塊、以及與所述下筒高度位置相對應的第二限位塊,所述第一限位塊用于使所述石英上筒向下移動時限制在所述裝料外筒內部的所述上筒高度位置,所述第二限位塊用于使所述石英下筒向下移動時限制在所述裝料外筒內部的所述下筒高度位置。
2.根據權利要求1所述單晶爐連續拉晶多次加料機構,其特征在于,所述提升機構還包括伸縮節與軟性鉬絲繩;
所述軟性鉬絲繩的第一端與所述提升機連接,所述軟性鉬絲繩第二端與所述石英提升桿的第一端連接;
所述伸縮節設置于所述裝料外筒與所述裝料內筒之間,所述石英提升桿緊密穿設于所述伸縮節以使所述裝料內筒相對于所述裝料外筒的頂部與所述石英提升桿的接觸部位保持密封狀態;
所述伸縮節的第一端與所述裝料外筒的頂部連接,所述伸縮節的第二端與所述石英蓋連接,所述伸縮節用于在所述石英提升桿上下移動時,按上下移動的方向進行伸縮。
3.根據權利要求2所述單晶爐連續拉晶多次加料機構,其特征在于,所述裝料外筒的壁部穿設有真空抽氣口,所述真空抽氣口用于連接真空抽氣管路。
4.根據權利要求1所述單晶爐連續拉晶多次加料機構,其特征在于,所述裝料外筒還設置用于封閉所述裝料口的裝料門。
5.根據權利要求4所述單晶爐連續拉晶多次加料機構,其特征在于,所述裝料口與所述裝料門之間還設置有密封結構。
6.根據權利要求1所述單晶爐連續拉晶多次加料機構,其特征在于,所述平移設備為車輛。
7.根據權利要求1至6中任一項所述單晶爐連續拉晶多次加料機構,其特征在于,所述平移設備設置升降機構,所述裝料設備設置于所述升降機構,所述升降機構用于帶動所述裝料設備升降。
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