[發明專利]探針卡模塊

有效

• 申請號: 201610990975.2
• 申請日: 2016-11-10
• 公開（公告）號: CN107367681B
• 公開（公告）日: 2020-01-03
• 發明（設計）人: 賴鴻尉;李宗潤
• 申請（專利權）人: 新特系統股份有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 11139 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 孫皓晨

本發明公開了一種探針卡模塊，其包括：多個導電探針；一印刷電路板，具有非圓形的一上表面與一下表面，并包含一連接該多個導電探針的導電線路；一探針固定座，設置于該印刷電路板的下表面，并用以固定該多個導電探針；以及多個電路芯片，設置于該印刷電路板的上表面。

技術領域

本發明涉及一種探針卡。

背景技術

在集成電路元件的制造過程中，晶粒切割或元件封裝之前會進行電性測試，通常通過探針卡將測試機(Tester)提供的電源信號與測試信號傳輸給待測元件(Device UnderTesting，簡稱DUT)；其中，電源信號用以供給待測元件所需電源，測試信號用以檢測待測元件。

現有的探針卡模塊10的結構造可如圖1A與圖1B所示，其中圖1A為其剖面圖，圖1B為其上視圖。該探針卡模塊10的結構主體為印刷電路板12，通過探針固定座13將導電探針11固定于印刷電路板12下方，且該印刷電路板12固定于探針卡支持器14上。該探針卡支持器14具有一中央開口，當該印刷電路板12設置于該探針卡支持器14上時，該導電探針11可通過該中央開口向下點觸待測元件(未圖標)的測試墊片(Testing pad)。

一般而言，探針卡的上視圖輪廓與待測元件晶圓的形狀及尺寸大致相同；也就是說，如果待測元件為8寸晶圓，則該印刷電路板12將會是直徑大約為8寸的圓形盤狀物。此外，為了探針卡支持器14能在測試機上對準定位，一般會在該探針卡支持器14內設置上下各一個定位銷(Alignment Pin)15；當然，此上下兩個定位銷15之間的距離必須大于該印刷電路板12的直徑D0。

當集成電路制造技術升級時，例如，由制造8寸晶圓升級到制造12寸晶圓，測試機臺常會整個升級更新，這將造成很大的成本負擔。因此，本發明嘗試在原有測試機臺的軟件系統基礎下，針對其中的探針卡及探針卡支持器進行硬件機構為主的改進，以達到花費最少成本而能滿足集成電路制造技術升級所需的電性測試。對于現有的探針卡模塊技術，可參考中國臺灣專利案TW M270488、TWI287634、TW I453846，中國專利案CN 1665011，及美國專利案US6060892，皆完全不同于本案中的技術方案。

發明內容

本發明的目的之一即在于解決當集成電路制造技術升級時，可在原有測試機臺的軟件系統基礎下，針對其中的探針卡模塊(包含探針卡及探針卡支持器)進行硬件機構為主的改進，以達到花費最少成本并能滿足集成電路制造技術升級所需的電性測試

根據本發明的一方面，一實施例提供一種探針卡模塊，其包括：多個導電探針；一印刷電路板，具有非圓形的一上表面與一下表面，并包含一連接該多個導電探針的導電線路；一探針固定座，設置于該印刷電路板的下表面下，用以固定該多個導電探針；以及多個電路芯片，設置于該印刷電路板的上表面。

在一實施例中，該多個電路芯片連接該印刷電路板中的導電線路。

在一實施例中，該電路芯片為單刀雙擲開關或操作放大器。

在一實施例中，該印刷電路板的非圓形上表面具有一第一直線邊、一平行于該第一直線邊的第二直線邊、一第一圓弧邊及一與該第一圓弧邊左右對稱的第二圓弧邊。

在一實施例中，一第一圓具有一第一直徑，一第二圓具有一大于該第一直徑的第二直徑，該第一弧形邊與該第二弧形邊皆為該第二圓的部分弧形邊，該第一直徑等于該第一直線邊與該第二直線邊之間的距離，且該多個電路芯片設置于該第一圓與該第一弧形邊之間的區域上或該第一圓與該第二弧形邊之間的區域上。

附圖說明

圖1A為現有的探針卡模塊的結構剖面圖；

圖1B為現有的探針卡模塊的結構上視圖；

圖2A為根據本發明實施例探針卡模塊的結構剖面圖；

圖2B為根據本發明實施例探針卡模塊的結構上視圖；