[發(fā)明專(zhuān)利]一種大型高純鉬合金旋轉(zhuǎn)靶材的制造方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610989718.7 | 申請(qǐng)日： | 2016-11-10 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106567048B | 公開(kāi)（公告）日： | 2018-11-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張靈杰 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 洛陽(yáng)科威鎢鉬有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C23C14/34 | 分類(lèi)號(hào)： | C23C14/34;C22C1/02;C22C27/04;B22F9/22;C22F1/18 |
| 代理公司： | 洛陽(yáng)公信知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 魏新培 |
| 地址： | 471000 *** | 國(guó)省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 大型 高純 合金 旋轉(zhuǎn) 制造 方法 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
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C23 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過(guò)覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過(guò)覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
