[發明專利]抗環境振動影響的微機械陀螺儀

有效

• 申請號: 201610986332.0
• 申請日: 2016-11-09
• 公開（公告）號: CN106525017B
• 公開（公告）日: 2020-07-03
• 發明（設計）人: 劉亞婷
• 申請（專利權）人: 沈丹
• 主分類號: G01C19/5656
• 分類號: G01C19/5656
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種抗環境振動影響的微機械陀螺儀，其特征是，包括：

第一結構(1)、第二結構(2)和耦合梁(3)；第一結構(1)和第二結構(2)通過耦合梁(3)連接且關于耦合梁(3)對稱，耦合梁(3)僅允許第一結構(1)和第二結構(2)反向運動；

第一結構(1)包括第一框架(11)、第一驅動質量塊(12)、第二驅動質量塊(13)、第一驅動耦合梁(14)、第一梳齒驅動電極(15)、第一梳齒檢測電極(16)、第一支撐梁(17)和第二支撐梁(18)；其中，第一驅動質量塊(12)、第二驅動質量塊(13)、第一驅動耦合梁(14)、第一梳齒驅動電極(15)、第一支撐梁(17)和第二支撐梁(18)均設于第一框架(11)內；第一驅動質量塊(12)和第二驅動質量塊(13)通過第一驅動耦合梁(14)連接且關于第一驅動耦合梁(14)對稱，第一驅動耦合梁(14)促使第一驅動質量塊(12)和第二驅動質量塊(13)等位移反向運動；第一梳齒驅動電極(15)分布于第一驅動質量塊(12)和第二驅動質量塊(13)四周，第一梳齒檢測電極(16)分布于第一框架(11)四周；第一支撐梁(17)用來連接襯底與第一框架(11)；第二支撐梁(18)用來將第一驅動質量塊(12)、第二驅動質量塊(13)與第一框架(11)連接；

第二結構(2)包括第二框架(21)、第三驅動質量塊(22)、第四驅動質量塊(23)、第二驅動耦合梁(24)、第二梳齒驅動電極(25)、第二梳齒檢測電極(26)、第三支撐梁(27)和第四支撐梁(28)；其中，第三驅動質量塊(22)、第四驅動質量塊(23)、第二驅動耦合梁(24)、第二梳齒驅動電極(25)、第三支撐梁(27)和第四支撐梁(28)設于第二框架(21)內；第三驅動質量塊(22)和第四驅動質量塊(23)通過第二驅動耦合梁(24)連接且關于第二驅動耦合梁(24)對稱，第二驅動耦合梁(24)促使第三驅動質量塊(22)和第四驅動質量塊(23)等位移反向運動；第二梳齒驅動電極(25)分布于第三驅動質量塊(22)和第四驅動質量塊(23)四周，第二梳齒檢測電極(26)分布于第二框架(21)四周；第三支撐梁(27)用來連接襯底與第二框架(21)；第四支撐梁(28)用來將第三驅動質量塊(22)、第四驅動質量塊(23)與第二框架(21)連接；

所述的第一支撐梁(17)有4組，分別設置于第一框架(11)四側壁，4組第一支撐梁(17)均一端連接第一框架(11)，另一端連接襯底；

且，所述的第三支撐梁(27)也有4組，分別設置于第二框架(21)四側壁，4組第三支撐梁(27)均一端連接第二框架(21)，另一端連接襯底；

所述的第二支撐梁(18)有8組，其中4組用來連接第一驅動質量塊(12)和第一框架(11)，另外4組用來連接第二驅動質量塊(13)和第一框架(11)；

且，所述的第四支撐梁(28)也有8組，其中4組用來連接第三驅動質量塊(22)和第二框架(21)，另外4組用來連接第四驅動質量塊(23)和第二框架(21)。