[發(fā)明專利]一種電阻量測探頭有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610985424.7 | 申請日： | 2016-11-09 |
| 公開（公告）號： | CN106443188B | 公開（公告）日： | 2020-08-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 劉紀(jì)偉;張偉光 | 申請（專利權(quán)）人： | 武漢新芯集成電路制造有限公司 |
| 主分類號： | G01R27/02 | 分類號： | G01R27/02;G01R31/26;G01R1/067;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務(wù)所 31272 | 代理人： | 俞滌炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 電阻 測探 | ||
【說明書】：
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