[發(fā)明專(zhuān)利]監(jiān)控不同層金屬層間隔離性能的測(cè)試結(jié)構(gòu)及測(cè)試方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610984922.X | 申請(qǐng)日： | 2016-11-09 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106328630A | 公開(kāi)（公告）日： | 2017-01-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 馬杰 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | H01L23/544 | 分類(lèi)號(hào)： | H01L23/544;H01L21/60 |
| 代理公司： | 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 監(jiān)控 不同 金屬 間隔 性能 測(cè)試 結(jié)構(gòu) 方法 | ||
【說(shuō)明書(shū)】：
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- 多級(jí)校內(nèi)監(jiān)控系統(tǒng)
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