[發明專利]一種全對稱折疊彈性梁硅微環形振動陀螺諧振子結構

有效

• 申請號: 201610974326.3
• 申請日: 2016-11-07
• 公開（公告）號: CN106643686B
• 公開（公告）日: 2020-04-17
• 發明（設計）人: 劉俊;寇志偉;曹慧亮;石云波;黃堃;唐軍;連樹仁;馮恒振;康強;任建軍
• 申請（專利權）人: 中北大學
• 主分類號: G01C19/5684
• 分類號: G01C19/5684
• 代理公司: 太原科衛專利事務所(普通合伙) 14100
• 代理人: 朱源;王勇

1.一種全對稱折疊彈性梁硅微環形振動陀螺諧振子結構，其特征在于：包括圓環狀諧振質量（1）、圓柱狀中心錨點（2）、輪輻狀彈性支撐懸梁（3）；

其中，圓柱狀中心錨點（2）位于圓環狀諧振質量（1）的內腔，且圓柱狀中心錨點（2）的軸線與圓環狀諧振質量（1）的軸線相互重合；輪輻狀彈性支撐懸梁（3）的數目為八個，且八個輪輻狀彈性支撐懸梁（3）圍繞圓柱狀中心錨點（2）的軸線等距排列；

每個輪輻狀彈性支撐懸梁（3）均由第一片狀彈性支撐懸梁（31）、第二片狀彈性支撐懸梁（32）、第一方波狀彈性支撐懸梁（33）、第二方波狀彈性支撐懸梁（34）、第三片狀彈性支撐懸梁（35）、第四片狀彈性支撐懸梁（36）構成；第一片狀彈性支撐懸梁（31）的尾端和第二片狀彈性支撐懸梁（32）的尾端均與圓柱狀中心錨點（2）的外側面固定；第一片狀彈性支撐懸梁（31）和第二片狀彈性支撐懸梁（32）并排平行設置，且第一片狀彈性支撐懸梁（31）和第二片狀彈性支撐懸梁（32）之間留有間隙；第一方波狀彈性支撐懸梁（33）的尾端與第一片狀彈性支撐懸梁（31）的首端固定；第二方波狀彈性支撐懸梁（34）的尾端與第二片狀彈性支撐懸梁（32）的首端固定；第一方波狀彈性支撐懸梁（33）和第二方波狀彈性支撐懸梁（34）共同圍合形成工字形空間；第三片狀彈性支撐懸梁（35）的尾端與第一方波狀彈性支撐懸梁（33）的首端固定；第四片狀彈性支撐懸梁（36）的尾端與第二方波狀彈性支撐懸梁（34）的首端固定；第三片狀彈性支撐懸梁（35）和第四片狀彈性支撐懸梁（36）并排平行設置，且第三片狀彈性支撐懸梁（35）和第四片狀彈性支撐懸梁（36）之間留有間隙；第三片狀彈性支撐懸梁（35）的首端和第四片狀彈性支撐懸梁（36）的首端均與圓環狀諧振質量（1）的內側面固定；

八個輪輻狀彈性支撐懸梁（3）的尺寸一致，且八個輪輻狀彈性支撐懸梁（3）的高度均與圓環狀諧振質量（1）的高度相等；

圓環狀諧振質量（1）、圓柱狀中心錨點（2）、八個輪輻狀彈性支撐懸梁（3）均采用低阻硅片加工而成，且圓環狀諧振質量（1）、圓柱狀中心錨點（2）、八個輪輻狀彈性支撐懸梁（3）采用體硅加工工藝制造為一體。