[發明專利]一種用于制造微型結構的系統和方法

在審

• 申請號: 201610973868.9
• 申請日: 2011-02-11
• 公開（公告）號: CN106945202A
• 公開（公告）日: 2017-07-14
• 發明（設計）人: 譚永杰
• 申請（專利權）人: 譚永杰
• 主分類號: B29C33/00
• 分類號: B29C33/00;B29C39/24;B29C39/26;B29C39/42;B29C41/12;B29C41/36;B29C41/38;B26F1/26;B26F1/28;B26F3/00;B81C1/00;B82Y30/00
• 代理公司: 北京市隆安律師事務所11323
• 代理人: 權鮮枝

1.一種多層噴嘴結構，其特征在于，包括第一層結構(6001)和第二層結構(6004)，在第一層結構(6001)和第二層結構(6004)之間形成有第一間隙(6007)，在第一層結構(6001)中形成有貫穿第一層結構(6001)的第一層孔(6006)，在第二層結構(6004)中形成有貫穿第二層結構(6004)的第二層孔(6005)，并且第一層孔(6006)和第二層孔(6005)相互對準。

2.根據權利要求1所述的多層噴嘴結構，其中第一層結構(6001)形成有向第二層結構(6004)突出的特征件(6003)，并且第一層孔還貫穿特征件(6003)。

3.根據權利要求1所述的多層噴嘴結構，其中在第一層結構(6001)中形成有多個所述第一層孔(6006)，在第二層結構(6004)中形成有多個第二層孔(6005)，并且多個第一層孔(6006)和多個第二層孔(6005)一對一地相互對準。

4.根據權利要求2所述的多層噴嘴結構，還包括第三層結構(6010)，在第二層結構(6004)和第三層結構(6010)之間形成有第二間隙(6011)，在第三層結構(6010)中形成有貫穿第三層結構(6010)的第三層孔，并且第三層孔與第一層孔和第二層孔相互對準。

5.根據權利要求4所述的多層噴嘴結構，其中第一層結構和第二層結構通過沿著這兩個結構的邊緣的結合部結合在一起，并且在所述結合部的外側形成有通道，所述通道與第二間隙連通。

6.一種制造多層噴嘴結構的方法，包括：

使用模制板模制出第一層結構(6001)；

將第一層結構(6001)作為模制板，在第一層結構(6001)上模制出由犧牲材料構成的第一犧牲層結構(6002)；

將第一犧牲層結構(6002)作為模制板，在第一犧牲層結構(6002)上模制出第二層結構(6004)；

使流動流(6018)穿過第一層結構(6001)，第一犧牲層結構(6002)和第二層結構(6004)，從而在第一層結構(6001)和第二層結構(6004)中形成相互對準的第一層孔(6006)和第二層孔(6005)；

移除第一犧牲層(6002)，從而在第一層結構(6001)和第二層結構(6004)之間形成第一間隙(6007)。

7.根據權利要求6所述的制造多層噴嘴結構的方法，還包括：

將第二層結構(6004)作為模制板，在第二層結構(6004)上模制出第二犧牲層結構(6009)；

將第二犧牲層結構(6009)作為模制板，在第二犧牲層結構(6009)上模制出第三層結構(6010)；

使流動流(6018)還穿過第二犧牲層結構(6009)和第三層結構(6010)，從而在第三層結構(6010)中形成與第一層孔和第二層孔對準的第三層孔。