[發(fā)明專利]一種自動上下版的直寫式絲網(wǎng)制版系統(tǒng)及制版方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610973594.3 | 申請日: | 2016-11-07 |
| 公開(公告)號: | CN108062006A | 公開(公告)日: | 2018-05-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 俞慶平 | 申請(專利權(quán))人: | 俞慶平 |
| 主分類號: | G03F7/20 | 分類號: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 安徽省合肥市蜀山區(qū)*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 自動 上下 直寫式 絲網(wǎng) 制版 系統(tǒng) 方法 | ||
1.一種自動上下版的直寫式絲網(wǎng)制版系統(tǒng),用于絲網(wǎng)制版過程中在網(wǎng)版上進(jìn)行圖形曝光,其特征在于:包括主機(jī)(1)、運(yùn)動系統(tǒng)(2)、光源驅(qū)動控制器(3)、光源(4)、可編程數(shù)據(jù)控制器(5)、空間光調(diào)制器(6)、主動聚焦模塊(7)、光學(xué)鏡頭(8)、位置誤差修正模塊(9)、光電傳感器(10)、自動上下版機(jī)械模塊(11)以及通信模塊(12);
所述運(yùn)動系統(tǒng)(2)由步進(jìn)平臺(2-1)、掃描平臺(2-2)以及平臺驅(qū)動器(2-3)組成,其中所述平臺驅(qū)動器(2-3)與所述主機(jī)(1)相連并驅(qū)動所述步進(jìn)平臺(2-1)和所述掃描平臺(2-2)運(yùn)動;
所述光源驅(qū)動控制器(3)控制所述光源(4)的開關(guān)狀態(tài)以及光強(qiáng);
所述可編程數(shù)據(jù)控制器(5)與所述主機(jī)(1)直接相連,在所述主機(jī)(1)的控制下驅(qū)動所述空間光調(diào)制器(6)完成曝光任務(wù);
所述主動聚焦模塊(7)控制所述光學(xué)鏡頭(8)與網(wǎng)版間的距離;
所述位置誤差修正模塊(9)接收掃描平臺(2-2)發(fā)出的實(shí)時(shí)位置信號,對實(shí)時(shí)位置信號進(jìn)行修正得到精確位置信號,并將精確位置信號輸出至可編程數(shù)據(jù)控制器(5);
三個(gè)或更多的所述光電傳感器(10)安裝在所述步進(jìn)平臺(2-1)上,其中一個(gè)所述光電傳感器(10)位于所述步進(jìn)平臺(2-1)的任一頂角,其余的所述光電傳感器(10)分布在所述頂角的兩條邊上,且每條邊上的所述光電傳感器(10)數(shù)量不少于一個(gè);
所述自動上下版機(jī)械模塊(11)包括運(yùn)輸部件(11-1)、網(wǎng)版預(yù)置部件(11-2)和網(wǎng)版固定部件(11-3),自動上下版機(jī)械模塊(11)接受主機(jī)(1)的控制;
所述通信模塊(12)上行與主機(jī)(1)相連,下行與光源驅(qū)動控制器(3)、主動聚焦模塊(7)以及光電傳感器(10)分別相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動上下版的直寫式絲網(wǎng)制版系統(tǒng),其特征在于:所述主機(jī)(1)是個(gè)人計(jì)算機(jī)、服務(wù)器或工控機(jī)中的一種。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動上下版的直寫式絲網(wǎng)制版系統(tǒng),其特征在于:所述步進(jìn)平臺(2-1)承載網(wǎng)版(13)并帶動網(wǎng)版(13)運(yùn)動,所述掃描平臺(2-2)承載主動聚焦模塊(7)和光學(xué)鏡頭(8)并帶動主動聚焦模塊(7)和光學(xué)鏡頭(8)運(yùn)動。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動上下版的直寫式絲網(wǎng)制版系統(tǒng),其特征在于:所述光源(4)是激光器或發(fā)光二極管中的一種。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動上下版的直寫式絲網(wǎng)制版系統(tǒng),其特征在于:所述可編程數(shù)據(jù)控制器(5)由隨機(jī)存儲器、現(xiàn)場可編程門陣列以及空間光調(diào)制器控制芯片組成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動上下版的直寫式絲網(wǎng)制版系統(tǒng),其特征在于:所述空間光調(diào)制器(6)為數(shù)字微鏡器件。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動上下版的直寫式絲網(wǎng)制版系統(tǒng),其特征在于:所述主動聚焦模塊(7)由高速電機(jī)、位置傳感器和主動聚焦控制器組成。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種自動上下版的直寫式絲網(wǎng)制版系統(tǒng),其特征在于:所述運(yùn)輸部件(11-1)是吸盤或機(jī)械手中的一種。
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