[發明專利]測溫裝置及工藝腔室

在審

• 申請號: 201610973541.1
• 申請日: 2016-11-04
• 公開（公告）號: CN108020323A
• 公開（公告）日: 2018-05-11
• 發明（設計）人: 文莉輝;張軍;武學偉;徐寶崗
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: G01J5/06
• 分類號: G01J5/06
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

1.一種測溫裝置，所述測溫裝置包括紅外測溫傳感器和遮光筒，所述遮光筒包括筒狀本體，其特征在于，所述遮光筒還包括：

降溫部件，所述降溫部件設置在所述筒狀本體上，用于將所述筒狀本體降至設定的溫度范圍，并保持在所述溫度范圍；和/或

隔離部件，所述隔離部件設置在所述筒狀本體和熱源之間，用于將所述筒狀本體與所述熱源隔離。

2.根據權利要求1所述的測溫裝置，其特征在于，所述降溫部件為設置在所述筒狀本體筒壁上的冷卻通道；

所述冷卻通道包括入口和出口，從所述入口輸入冷卻介質，所述冷卻介質被輸送至所述冷卻通道內，與所述筒狀本體的筒壁進行熱交換。

3.根據權利要求2所述的測溫裝置，其特征在于，所述冷卻通道在所述筒狀本體的筒壁上均勻分布。

4.根據權利要求3所述的測溫裝置，其特征在于，所述冷卻通道由在筒壁上設置的至少一條豎直通道和沿筒壁周向設置的至少一條弧形通道交替串接而成。

5.根據權利要求4所述的測溫裝置，其特征在于，所述冷卻通道包括6條豎直通道和6條弧形通道，其中，

所述弧形通道中的3條設置在筒壁上部，3條設置在筒壁下部，所述豎直通道與所述弧形通道交替串接。

6.根據權利要求1所述的測溫裝置，其特征在于，所述溫度范圍小于200℃。

7.根據權利要求6所述的測溫裝置，其特征在于，所述溫度范圍小于100℃。

8.根據權利要求2所述的測溫裝置，其特征在于，所述冷卻介質為水。

9.根據權利要求1所述的測溫裝置，其特征在于，所述筒狀本體的表面為拋光面或鍍金面。

10.根據權利要求1所述的測溫裝置，其特征在于，所述筒狀本體的材質為不銹鋼或銅。

11.根據權利要求1所述的測溫裝置，其特征在于，所述隔離部件為筒狀；

所述隔離部件套置于所述筒狀本體的外部；并且；

所述隔離部件的內壁與所述筒狀本體的外壁具有一定間距。

12.根據權利要求11所述的測溫裝置，其特征在于，所述隔離部件的數量為多個；

多個所述隔離部件沿所述筒狀本體的徑向依次間隔套置在所述筒狀本體的外部。

13.根據權利要求12所述的測溫裝置，其特征在于，位于最外層的所述隔離部件的外表面為反光面。

14.一種工藝腔室，包括托盤、用于對托盤加熱的紅外燈、用于檢測托盤溫度的測溫裝置，其特征在于，所述測溫裝置采用權利要求1-13任一項所述的測溫裝置。