[發明專利]一種快速收集閾值電壓分布的方法有效
| 申請號： | 201610971021.7 | 申請日： | 2016-11-01 |
| 公開（公告）號： | CN106653095B | 公開（公告）日： | 2020-05-15 |
| 發明（設計）人： | 席與凌;李強 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G11C29/56 | 分類號： | G11C29/56 |
| 代理公司： | 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吳世華;張磊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 快速 收集 閾值 電壓 分布 方法 | ||
1.一種快速收集閾值電壓分布的方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟S01：定義掃描時的電壓掃描范圍及電壓掃描步長；
步驟S02：從電壓掃描范圍的起點開始，以多倍電壓掃描步長對存儲單元進行第一次掃描，記錄首次出現功能讀取失效的存儲單元時的第一電壓值，以及全部存儲單元出現功能讀取失效時的第二電壓值；
步驟S03：根據第一次掃描的結果，確定存儲單元的閾值電壓理論分布范圍；所述閾值電壓理論分布范圍滿足：
( (V1–M·Vstep)～V2)
其中，V1代表第一電壓值，V2代表第二電壓值，Vstep代表電壓掃描步長，M代表第一次掃描時電壓掃描步長的倍率；
步驟S04：從閾值電壓理論分布范圍的起點開始，以單倍電壓掃描步長對存儲單元進行第二次掃描，記錄首次出現功能讀取失效的存儲單元時的第三電壓值，以及全部存儲單元出現功能讀取失效時的第四電壓值，并自第四電壓值起繼續掃描至少三個電壓掃描步長；
步驟S05：根據第二次掃描結果，計算出存儲單元的閾值電壓實際分布范圍。
2.根據權利要求1所述的快速收集閾值電壓分布的方法，其特征在于，所述閾值電壓理論分布范圍的起點電壓大于電壓掃描范圍的起點電壓。
3.根據權利要求1所述的快速收集閾值電壓分布的方法，其特征在于，所述閾值電壓理論分布范圍的終點電壓小于電壓掃描范圍的終點電壓。
4.根據權利要求1所述的快速收集閾值電壓分布的方法，其特征在于，第一次掃描時電壓掃描步長的倍率M為5～20。
5.根據權利要求1所述的快速收集閾值電壓分布的方法，其特征在于，步驟S04中，當第四電壓值小于第二電壓值時，繼續掃描至第二電壓值。
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