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[發(fā)明專(zhuān)利]多目標(biāo)晶圓測(cè)試方法在審

專(zhuān)利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201610969560.7 申請(qǐng)日: 2016-10-28
公開(kāi)(公告)號(hào): CN106353670A 公開(kāi)(公告)日: 2017-01-25
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 凌儉波;張志勇;湯雪飛;余琨;陳燕 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: 上海華嶺集成電路技術(shù)股份有限公司
主分類(lèi)號(hào): G01R31/28 分類(lèi)號(hào): G01R31/28;G01R31/01
代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)31237 代理人: 智云
地址: 201203 上海市浦*** 國(guó)省代碼: 上海;31
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 多目標(biāo) 測(cè)試 方法
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