[發明專利]射頻阻抗匹配方法、匹配器和半導體處理裝置

有效

• 申請號: 201610969137.7
• 申請日: 2016-10-28
• 公開（公告）號: CN108012401B
• 公開（公告）日: 2021-08-13
• 發明（設計）人: 王東
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46;H01L21/67
• 代理公司: 北京正和明知識產權代理事務所(普通合伙) 11845
• 代理人: 馮志慧

1.一種射頻阻抗匹配方法，其特征在于，包括：

檢測匹配器的當前輸入阻抗；

用所述當前輸入阻抗的共軛匹配阻抗代替射頻電源的輸出阻抗，計算所述匹配器的當前輸出阻抗；與所述匹配器的當前輸出阻抗共軛匹配的阻抗為負載阻抗；

將所述射頻電源的實際輸出阻抗等于所述射頻電源的輸出阻抗，通過所述負載阻抗和所述匹配器中可變電抗元件的當前值，計算到達匹配狀態時所述匹配器中可變電抗元件的新的位置值；

將所述匹配器中所述可變電抗元件的當前值調整為所述新的位置值。

2.根據權利要求1所述的射頻阻抗匹配方法，其特征在于，在所述用所述當前輸入阻抗的共軛匹配阻抗代替射頻電源的輸出阻抗，計算所述匹配器的當前輸出阻抗之前還包括：

根據所述匹配器的所述當前輸入阻抗，計算所述匹配器的功率反射系數；

判斷所述功率反射系數是否小于設定值；如果是，則不再執行后續步驟；如果否，則執行后續步驟。

3.根據權利要求2所述的射頻阻抗匹配方法，其特征在于，在所述用所述當前輸入阻抗的共軛匹配阻抗代替射頻電源的輸出阻抗，計算所述匹配器的當前輸出阻抗之后，且在所述將所述射頻電源的實際輸出阻抗等于所述射頻電源的輸出阻抗，通過所述負載阻抗和所述匹配器中可變電抗元件的當前值，計算到達匹配狀態時所述匹配器中可變電抗元件的新的位置值之前還包括：

判斷與所述當前輸入阻抗相對應的當前負載阻抗是否在預定的負載阻抗調整范圍內；如果是，則執行后續步驟；如果否，則不執行后續步驟；

其中，所述預定的負載阻抗調整范圍根據所述匹配器中可變電抗元件的取值范圍確定。

4.根據權利要求1-3任意一項所述的射頻阻抗匹配方法，其特征在于，所述匹配器包括L型匹配網絡、T型匹配網絡或π型匹配網絡。

5.根據權利要求1-3任意一項所述的射頻阻抗匹配方法，其特征在于，所述射頻的頻率包括13.56MHz、400KHz、2MHz、27MHz、40MHz或60MHz。

6.一種匹配器，其特征在于，包括：

檢測模塊，用于檢測匹配器的當前輸入阻抗；

第一計算模塊，用于用所述當前輸入阻抗的共軛匹配阻抗代替射頻電源的輸出阻抗，計算所述匹配器的當前輸出阻抗；與所述匹配器的當前輸出阻抗共軛匹配的阻抗為負載阻抗；

第二計算模塊，用于將所述射頻電源的實際輸出阻抗等于所述射頻電源的輸出阻抗，通過所述負載阻抗和所述匹配器中可變電抗元件的當前值，計算到達匹配狀態時所述匹配器中可變電抗元件的新的位置值；

調整模塊，用于將所述匹配器中所述可變電抗元件的當前值調整為所述新的位置值。

7.根據權利要求6所述的匹配器，其特征在于，還包括第三計算模塊，用于根據所述匹配器的所述當前輸入阻抗，計算所述匹配器的功率反射系數；

第一判斷模塊，用于判斷所述功率反射系數是否小于設定值；

所述第一計算模塊和所述第二計算模塊還用于根據所述第一判斷模塊的判斷結果確定是否執行相應計算。

8.根據權利要求7所述的匹配器，其特征在于，還包括第二判斷模塊，用于根據所述第一計算模塊的計算結果判斷與所述當前輸入阻抗相對應的當前負載阻抗是否在預定的負載阻抗調整范圍內；

所述預定的負載阻抗調整范圍根據所述匹配器中可變電抗元件的取值范圍確定；所述第二計算模塊還用于根據所述第二判斷模塊的判斷結果確定是否執行相應計算。

9.根據權利要求6-8任意一項所述的匹配器，其特征在于，所述匹配器包括L型匹配網絡、T型匹配網絡或π型匹配網絡。

10.一種半導體處理裝置，其特征在于，包括權利要求6-9任意一項所述的匹配器。