[發明專利]一種電輔助的氮化物晶體生長裝置及方法有效
| 申請號： | 201610966496.7 | 申請日： | 2016-10-28 |
| 公開（公告）號： | CN106498499B | 公開（公告）日： | 2019-02-19 |
| 發明（設計）人： | 李成明;王琦;胡耀華;巫永鵬;陳蛟;張耿;鄭小平;盧洪;李順峰;張國義 | 申請（專利權）人： | 北京大學東莞光電研究院 |
| 主分類號： | C30B29/40 | 分類號： | C30B29/40;C30B30/02;C30B7/14 |
| 代理公司： | 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102 | 代理人： | 羅曉林;楊桂洋 |
| 地址： | 523000 廣東省東莞*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 輔助 氮化物 晶體生長 裝置 方法 | ||
【權利要求書】：
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