[發明專利]壓電振動片的制造方法有效
| 申請號： | 201610961518.0 | 申請日： | 2016-11-04 |
| 公開（公告）號： | CN106972838B | 公開（公告）日： | 2021-07-09 |
| 發明（設計）人： | 市村直也 | 申請（專利權）人： | 精工電子水晶科技股份有限公司 |
| 主分類號： | H03H3/02 | 分類號： | H03H3/02;H03H9/02;H01L41/22;H01L41/27 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 嚴志軍;傅永霄 |
| 地址： | 日本千葉*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓電 振動 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種壓電振動片的制造方法，其利用由壓電材料形成的圓片來制造壓電振動片，所述壓電振動片具有壓電板、和在所述壓電板上形成，且在被施加既定的驅動電壓時使所述壓電板振動的一對激振電極，其特征在于，具備：
外形形成工序，在所述圓片，形成所述壓電板、和經由連結部支撐所述壓電板的框架部；
電極形成工序，在所述圓片的主面上及側面上構圖電極膜，對所述壓電板形成所述一對激振電極，并且形成從所述壓電板通過所述連結部延伸到所述框架部，且相對于所述一對激振電極分別電連接的一對延伸電極；和
單片化工序，截斷所述連結部，以使所述壓電板單片化，
在所述電極形成工序中，將所述一對延伸電極之中的至少任一個延伸電極形成在所述連結部的側面上。
2.根據權利要求1所述的壓電振動片的制造方法，其特征在于，
在所述外形形成工序中，在所述連結部的側面形成異形部，所述異形部具有相對于所述圓片的主面傾斜的面，
在所述電極形成工序中，將所述一對延伸電極之中的至少任一個延伸電極形成于所述異形部。
3.根據權利要求1或2所述的壓電振動片的制造方法，其特征在于，
在所述外形形成工序中，以寬度從所述框架部朝所述壓電板變窄的方式形成所述連結部，
在所述電極形成工序中，在所述連結部之中寬度最窄的窄寬度部的側面，形成所述一對延伸電極之中的至少任一個延伸電極。
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