[發明專利]分子電子型角加速度計敏感組件轉換器電極高溫封接方法有效
| 申請號： | 201610960917.5 | 申請日： | 2016-11-04 |
| 公開（公告）號： | CN108020678B | 公開（公告）日： | 2020-05-15 |
| 發明（設計）人： | 鄭辛;孫榮凱;王同雷 | 申請（專利權）人： | 北京自動化控制設備研究所 |
| 主分類號： | G01P3/26 | 分類號： | G01P3/26 |
| 代理公司： | 核工業專利中心 11007 | 代理人： | 高安娜 |
| 地址： | 100074 北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 分子 電子 角加速度 敏感 組件 轉換器 電極 高溫 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種分子電子型角加速度計敏感組件轉換器電極高溫封接方法，其特征在于，該方法包括如下步驟
1)轉換器(2)與電極相對位置固定，具體為
a)將轉換器(2)燒結固定于敏感組件腔體(1)內；
b)在敏感組件腔體(1)上表面、位于轉換器(2)上端兩側的位置上分別加工兩個直徑為0.8～1.2mm的定位安裝孔；
c)將兩根電極通過上述定位安裝孔分別插入敏感組件腔體(1)內；
2)將上述兩根電極彎曲整形，圍成圓環形；
3)電極高溫封接，具體為
a)將敏感組件腔體(1)、轉換器(2)、電極全部放到自然火焰外焰處預熱5～6分鐘，火焰溫度500～550℃；
b)分別燒結敏感組件腔體(1)上的兩個定位安裝孔，使其封閉；
4)敏感組件腔體(1)進行退火處理；
溫度為500～600℃，時間24～50小時；
所述的電極為金屬電極；所述的敏感組件腔體和轉換器為玻璃材質。
2.如權利要求1所述的分子電子型角加速度計敏感組件轉換器電極高溫封接方法，其特征在于：所述的步驟2)中的圓環形半徑為4～5mm。
3.如權利要求1所述的分子電子型角加速度計敏感組件轉換器電極高溫封接方法，其特征在于：所述的步驟3)中燒結溫度為950～1000℃，燒結時間1～1.5min。
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