[發明專利]金屬掩模材料及金屬掩模

有效

• 申請號: 201610960658.6
• 申請日: 2016-11-04
• 公開（公告）號: CN107012421B
• 公開（公告）日: 2019-08-02
• 發明（設計）人: 近藤祐幸
• 申請（專利權）人: JX金屬株式會社
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12;C22C38/10;C22C38/08
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 馬倩;魯煒

本發明的課題在于提供不僅提高蝕刻加工精度而且可精度良好地檢測自身的缺陷的金屬掩模材料及金屬掩模。本發明的金屬掩模材料由Fe?Ni系合金的軋制箔形成，所述Fe?Ni系合金的軋制箔含有合計30～45質量%的Ni和Co、其中含有0～6質量%的Co，且余量由Fe及無法避免的雜質構成，厚度t為0.02～0.08mm，沿軋制平行方向及軋制垂直方向按照JIS?B0601測得的算術平均粗糙度Ra為0.01～0.20μm，并且，沿軋制平行方向及軋制垂直方向按照JIS?Z8741測得的60度光澤度G60為200～600。

技術領域

本發明涉及有機EL顯示器的制造等中使用的金屬掩模材料及金屬掩模。

背景技術

平板顯示器中，與現在主流的液晶顯示器相比較，有機EL顯示器具有下述特征：由于結構簡單，因而可使得制品更薄；變化快速的影像的顯示順利；而且視野角寬；等等。上述有機EL顯示器已在便攜終端等小型設備中量產化，作為下一代顯示器的有力候選，在大型顯示器中的實用化正在進展。

作為制作有機EL顯示器的EL（發光）層的方法，大致包括蒸鍍法和印刷法。蒸鍍法是在真空中進行加熱、使蒸發的EL物質以薄層附著于基板的表面的方法。另外，印刷法是通過在基板的表面上印刷EL層而進行制作的方法。蒸鍍法進一步包括發出RGB（紅綠藍）三色的光的類型和使EL層發出白色的光的類型。

蒸鍍法中，為了以規定的圖案在基板的規定的位置制作EL層，包括在蒸鍍源與基板之間設置金屬掩模的彩色圖案形成（color patterning）工序。金屬掩模由具有與EL層的圖案對應的開口部的金屬制的板或箔形成。從蒸鍍源蒸發而脫離至真空中的EL物質抵達金屬掩模，通過了金屬掩模的開口部的EL物質附著于基板，形成具有規定的圖案的EL層。

另外，在彩色圖案形成工序中，由于從蒸鍍源發出的輻射熱、并且在金屬掩模表面上附著溫度高的有機材料，因而，金屬掩模的溫度有時上升至100℃左右，為了保持基板上的成型位置的精度，金屬掩模需要使用具有與基板為同等程度以下的熱膨脹的材料。尤其是，需要針對RGB的三色逐一形成發出RGB三色的光的類型中的EL層的圖案，因而抑制因金屬掩模的膨脹而導致的成型位置的偏離是重要的。

對于金屬掩模的厚度而言，在發出RGB三色的光的類型中，主要可使用0.02～0.08mm的箔，在使EL層發出白色的光的類型中，主要可使用0.08～0.25mm的板。

作為發出RGB三色的光的類型中的彩色圖案形成工序中的其他問題，有時在基板上成型的有機材料的位置發生偏離，發生影像的顏色不均等不良情況。該工序中，從1點的蒸鍍源通過金屬掩模的開孔部而使有機材料附著于基板上。因此，在金屬掩模厚的情況下，在遠離蒸鍍源的位置，有機材料的入射角變小時，開孔部壁成為陰影，有機材料的圖案形狀被成型成與開孔部不同的形狀，保持形狀精度變得困難。這被稱為陰影效應，可通過使金屬掩模變薄而改善。

另一方面，為了避免上述問題而使金屬掩模變薄時，有時在操作時發生折斷，或者由于有機材料堆積于金屬掩模而使得重量增加從而導致金屬掩模發生形變。為了避免這樣的不良情況，需要保持金屬掩模的強度，使厚度變薄存在限度。

因此，作為同時實現金屬掩模的強度和開孔部的形狀精度的方法，公開了部分地設置加固金屬線而防止厚度薄的金屬掩模彎曲的技術（專利文獻1）、使開孔形成層變薄并將其與另外的支持層接合而制作一片金屬掩模的技術（專利文獻2、3）。另外，公開了控制表面粗糙度、提高蝕刻加工精度的技術（專利文獻4）。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平10-50478號公報

專利文獻2：日本專利第4126648號公報

專利文獻3：日本特開2004-039628號公報

專利文獻4：日本特開2010-214447號公報。