[發明專利]微小金屬矩形波導電化學制造方法

在審

• 申請號: 201610959510.0
• 申請日: 2016-10-26
• 公開（公告）號: CN106654500A
• 公開（公告）日: 2017-05-10
• 發明（設計）人: 朱荻;曾永彬;房曉龍;王玉峰
• 申請（專利權）人: 南京航空航天大學
• 主分類號: H01P11/00
• 分類號: H01P11/00;G02B6/10
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務所32237
• 代理人: 賀翔

1.一種微小金屬矩形波導電化學制造方法，其特征在于包括以下步驟：

步驟1、利用雙微尺度線電極和納秒脈沖電源對薄板工件進行微細電解線切割加工得到芯模；

步驟2、在芯模的表面電鍍一層金層，其厚度大于該波導傳輸的太赫茲波的趨膚效應深度，為數十納米至數微米,芯模兩端無鍍層；

步驟3、利用運動納米粒子輔助精密電鑄技術在電鍍金層的表面電鑄一層銅層，其厚度達到毫米級；

步驟4、利用納秒脈沖電源和微尺度線電極對電鑄銅層進行整平修整，并控制芯模和微尺度線電極的相對運動軌跡，加工出預先要求的輪廓；

步驟5、利用化學試劑選擇性溶解芯模，從而得到內壁為電鍍金層，外表面為電鑄銅層的微小矩形金屬波導。

2.根據權利要求1所述的一種微小金屬矩形波導電化學制造方法，其特征在于：利用雙微尺度線電極進行微細電解線切割加工上述步驟1中的芯模，芯模的橫截面尺寸通過控制雙微尺度線電極的間距和薄板工件厚度來保證。

3.根據權利要求1所述的一種微小金屬矩形波導電化學制造方法，其特征在于: 上述步驟3所述運動納米粒子輔助精密電鑄技術電鑄銅層的加工過程為：將表面電鍍金層的芯模置于盛有納米粒子的帶孔隙的容器中，其中帶孔隙的容器置于盛有電鑄液的電鑄槽中；電鑄加工過程中，伺服電機通過機械平動機構帶動芯模平動，在其表面電鑄一層較厚的電鑄銅層；由溫度控制器和溫度傳感器實時檢測電鑄液的溫度，通過加熱管加熱電鑄液，并通過攪拌器不斷攪拌電鑄液。

4.根據權利要求1所述的一種微小金屬矩形波導電化學制造方法，其特征在于：所述步驟1中的芯模材料為鎳、鋁或其合金材料；

當芯模的材料為鎳時，步驟5所述的化學試劑為鹽酸或硫酸溶液；

當芯模的材料為鋁或其合金時，步驟5所述的化學試劑為堿性溶液。

5.根據權利要求4所述的一種微小金屬矩形波導電化學制造方法，其特征在于：所述堿性溶液包括氫氧化鉀、氫氧化鈉溶液。